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基于對稱結(jié)構(gòu)的材料放氣率測試系統(tǒng)及方法

1300   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 15:02:23
本發(fā)明一種基于對稱結(jié)構(gòu)的材料放氣率測試系統(tǒng)及方法,包括第一至第四真空室、第一和第二小孔元件、第一至第三真空計、機械泵、分子泵、第一至第八真空閥門、第一和第二進樣閥門、恒溫箱;機械泵通過第一真空閥門與分子泵的抽氣出口連接,其抽氣入口分別與第一真空計、第二第三第四真空閥門的一端連接;所述第三、第四真空閥門的另一端分別與第二、第四真空室連接;第二第四真空室分別通過第一、第二小孔元件與一三真空室相連通;第二真空計分別通過第五、第六真空閥門連接至第二、第四真空室,第三真空計分別通過第七、第八真空閥門連接至第一、第三真空室;第一、第三真空室上分別設(shè)置第一、第二進樣閥門。本發(fā)明可大幅提高測量精度和測試效率。
聲明:
“基于對稱結(jié)構(gòu)的材料放氣率測試系統(tǒng)及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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