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鍍膜對位裝置和鍍膜系統(tǒng)

1021   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 15:02:22
本發(fā)明公開了一種鍍膜對位裝置和鍍膜系統(tǒng),用以降低生產(chǎn)成本,提高鍍膜精度。所述鍍膜對位裝置,包括靜電吸附裝置、夾持機(jī)械手和對位裝置,其中:所述靜電吸附裝置用于吸附待鍍基板和掩膜板;所述夾持機(jī)械手用于夾持掩膜板的兩端,并在所述對位裝置對位后,將所述掩膜板貼附在所述待鍍基板上;所述對位裝置用于通過所述掩膜板上的對位標(biāo)和所述待鍍基板上的對位標(biāo)對所述掩膜板和所述待鍍基板進(jìn)行對位。
聲明:
“鍍膜對位裝置和鍍膜系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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