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AZO靶材的制備方法及AZO靶材

1077   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-18 15:02:02
本發(fā)明屬于新材料領(lǐng)域,具體涉及一種AZO靶材的制備方法,包括:通過(guò)AZO原料制備AZO噴涂材料;以及將AZO噴涂材料通過(guò)噴涂方式制成AZO靶材。本申請(qǐng)的制備方法通過(guò)制備AZO噴涂材料和噴涂工藝兩步制成AZO靶材,提高了靶材的均勻性,也簡(jiǎn)化了靶材的生產(chǎn)工藝,提高了生產(chǎn)效率,節(jié)約了生產(chǎn)成本。
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