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高效散熱復(fù)合陶瓷基板及其制備方法

1191   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-18 15:01:02
一種高效散熱復(fù)合陶瓷基板及其制備方法,復(fù)合陶瓷基板的結(jié)構(gòu)為SrAl12O19陶瓷/Al2O3陶瓷/SrAl12O19陶瓷。其制備方法:通過水基流延成型分別制備Al2O3?SrCO3混合粉體單層陶瓷素坯和Al2O3單層陶瓷素坯;將這兩種單層陶瓷素坯分別疊層5~10層和10~20層后形成Al2O3?SrCO3混合粉體多層陶瓷素坯和Al2O3多層陶瓷素坯,再將這兩種多層陶瓷素坯依次疊層后形成復(fù)合結(jié)構(gòu)流延片,并置于150~300MPa下溫等靜壓得復(fù)合結(jié)構(gòu)陶瓷素坯;最后依次進(jìn)行馬弗爐中排膠、真空爐中燒結(jié)、馬弗爐中退火、雙面拋光得復(fù)合陶瓷基板。該方法工藝簡單,能夠提高所制備得到的復(fù)合陶瓷基板的散熱效率。
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