本發(fā)明提供了一種鋁鉻硼合金靶材,以原子百分比計,其成分包括鋁30?80at%,鉻10ˉ50%,硼5?30at%。本發(fā)明還提供了一種鋁鉻硼合金靶材的制備方法,步驟包括:將鋁粉和硼粉在真空或高純氬氣保護(hù)條件下混合;將混勻的粉末燒結(jié)得到鋁硼合金塊;將鋁硼合金塊破碎成鋁硼合金粉末;將鉻粉和鋁硼合金粉末在真空或高純氬氣保護(hù)條件下混合、再冷等靜壓壓制得金屬塊體;將金屬塊體裝入包套中脫氣處理后在熱等靜壓設(shè)備中燒結(jié)壓制得到合金錠坯;最后將合金錠坯機加工、清洗得成品靶材。本發(fā)明制得的鋁鉻硼合金靶材,致密性好,無氣孔、無疏松和偏析,成分均勻,晶粒細(xì)小,規(guī)格尺寸大。
聲明:
“鋁鉻硼合金靶材及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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