本發(fā)明涉及一種工業(yè)硅精煉提純技術(shù)。一種工業(yè)硅真空電磁感應(yīng)懸浮蒸餾精煉提純方法，在真空電磁感應(yīng)懸浮蒸餾爐內(nèi)，將工業(yè)硅料在蒸發(fā)器中被電磁感應(yīng)線圈感應(yīng)加熱蒸餾，經(jīng)過(guò)一段時(shí)間蒸餾完成精煉提純，得到精煉提純后的硅液，其特殊之處是：電磁感應(yīng)線圈是電磁感應(yīng)懸浮線圈；蒸餾中之工業(yè)硅料呈電磁感應(yīng)懸浮狀態(tài)；精煉提純后的硅液落入坩堝或于電磁感應(yīng)懸浮中降溫凝固后落入坩堝成為產(chǎn)品：工業(yè)硅料可是熔融液態(tài)的或固態(tài)的，其純度為Si含量大于99.4％：電磁感應(yīng)懸浮線圈的組成結(jié)構(gòu)可與現(xiàn)有的工業(yè)硅真空電磁感應(yīng)懸浮熔煉爐之相同；蒸餾溫度和真空度可是1400℃-2000℃和10-1-10Pa：工業(yè)硅料是固態(tài)時(shí)，可先在爐外預(yù)熱到600℃以上。可獲得高純工業(yè)硅。