本發(fā)明公開了一種濺射靶材用鉬鈮合金板的制備方法,該方法為:一、將鈮粉和費氏平均粒度為3μm~8μm的鉬粉按照1∶9的質(zhì)量比置于混料機中混合得到混合料;二、對混合料進行振動壓制,得到鉬鈮合金粉末壓坯;三、將鉬鈮合金粉末壓坯置于真空燒結(jié)爐內(nèi)燒結(jié),制得鉬鈮合金板坯;四、對鉬鈮合金板坯進行機械切割,得到所需尺寸的濺射靶材用鉬鈮合金板。本發(fā)明的方法工藝流程簡單,易于實現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn),成品率高,制備過程不會產(chǎn)生任何廢料、廢酸等污染物。采用本發(fā)明的方法制備的鉬鈮合金板的密度不低于9.85g/cm3,滿足濺射靶材的要求。
聲明:
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