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用于管狀靶材的真空燒結系統(tǒng)

946 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-18 14:57:02

本發(fā)明公開了一種用于管狀靶材的真空燒結系統(tǒng)，第一壓蓋設置有第一模具，第二壓蓋設置有第二模具，第一模具與第二模具配合用于成型，第一保溫殼與第二保溫殼形成的加熱腔內(nèi)設置有加熱裝置；第一壓蓋設置在機架上，第二壓蓋固定連接在加壓裝置的輸出端，加壓裝置固定連接在機架上；加壓裝置包括恒壓裝置和反饋裝置，恒壓裝置用于提供穩(wěn)定壓力，反饋裝置用于提供附加壓力；通過反饋系統(tǒng)以位置為依據(jù)，當?shù)谝荒＞咧饾u靠近第二模具時，反饋裝置提供的附加壓力逐漸變大，使素坯所受壓力在燒結過程為逐漸變大，較小的初始力避免過早得出較大的晶粒，靶材燒結過程中各部位的累積受力的差異縮小，從而使各部位的晶粒的大小趨于均勻。

聲明：

“用于管狀靶材的真空燒結系統(tǒng)” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)