本發(fā)明屬于二次離子探針分析測試領(lǐng)域,具體涉及一種二次離子探針樣品靶的制備方法,主要用于提高樣品顆粒的平整度以及降低樣品靶的放氣率。樣品靶主要有玻璃片,環(huán)氧樹脂以及樣品顆粒組成。所述方法以圓形玻璃片為主體,首先在玻璃片上切割出數(shù)條凹槽,然后將樣品顆粒放入凹槽中,進而將環(huán)氧樹脂注入凹槽中進行固化,固化完成將樣品靶進行細磨,拋光。本發(fā)明優(yōu)勢主要有兩點:1.由于環(huán)氧樹脂只存在于玻璃的凹槽中,所以樣品靶的放氣率很低,有利于提高樣品室的真空;2.由于玻璃與礦物顆粒(鋯石,磷灰石等)的硬度相近,所以在拋光過程中有效保證了礦物顆粒,環(huán)氧樹脂以及玻璃處于相同平面,有效提高礦物顆粒邊緣的平整度。
聲明:
“二次離子探針樣品靶的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)