本發(fā)明公開了一種貴金屬靶材的修復(fù)方法,其方法為:將實施濺射后形成具有濺射損耗區(qū)的貴金屬靶材進行堿洗除油,清水沖洗,無水乙醇脫水,用上部保護罩和底部保護罩對所述貴金屬靶材實施惰性氣體氬氣保護,用氬弧焊槍的鎢極使與靶材材質(zhì)相同的絲材和靶材的局部熔化,并堆積在所述損耗區(qū)內(nèi),這樣反復(fù)進行堆積,使所述損耗區(qū)逐漸堆平,最終成為堆積態(tài)。本發(fā)明方法易操作,過程簡單,無污染,成本低;修復(fù)過程中貴金屬材料幾乎不損耗,能夠?qū)崿F(xiàn)靶材的反復(fù)使用,大幅度提高了靶材的利用率;修復(fù)后的靶材無裂紋,無氣孔;填充的貴金屬材料與原濺射靶的界面為焊接態(tài)的冶金結(jié)合,不會出現(xiàn)脫層等現(xiàn)象。
聲明:
“貴金屬靶材的修復(fù)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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