權(quán)利要求書:
1.一種轉(zhuǎn)盤式芯片分選機(jī)頂針機(jī)構(gòu),其特征在于,包括第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、頂針機(jī)構(gòu)、第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)以及頂針運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu),所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于帶動(dòng)頂晶機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng),所述第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于帶動(dòng)所述頂針機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng),以調(diào)節(jié)頂針機(jī)構(gòu)頂晶時(shí)的吸嘴與晶圓三個(gè)中心一致,所述頂針運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于將藍(lán)膜上的晶圓頂出至擺臂吸嘴上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種轉(zhuǎn)盤式芯片分選機(jī)頂針機(jī)構(gòu),其特征在于,所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括運(yùn)動(dòng)氣缸或直線電機(jī),所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)固定設(shè)置在氣缸固定座一側(cè),所述氣缸固定座遠(yuǎn)離所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的一側(cè)設(shè)置有頂晶底座。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種轉(zhuǎn)盤式芯片分選機(jī)頂針機(jī)構(gòu),其特征在于,所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)輸出端連接有螺栓以及推塊,所述頂針機(jī)構(gòu)包括與所述推塊相連的頂針前后模塊,所述頂晶底座一側(cè)設(shè)置有拖鏈板,所述第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括運(yùn)動(dòng)電機(jī),所述運(yùn)動(dòng)電機(jī)輸出端連接第一拖鏈和第二拖鏈。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種轉(zhuǎn)盤式芯片分選機(jī)頂針機(jī)構(gòu),其特征在于,所述頂晶底座一側(cè)還固定設(shè)置有頂晶限位塊以及導(dǎo)軌,所述運(yùn)動(dòng)氣缸輸出端還連接有無(wú)頭頂絲,所述推塊一側(cè)通過(guò)滑塊與所述導(dǎo)軌滑動(dòng)配合。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種轉(zhuǎn)盤式芯片分選機(jī)頂針機(jī)構(gòu),其特征在于,所述頂晶底座一側(cè)設(shè)置有定位銷釘,所述頂晶底座一側(cè)設(shè)置有閥板,所述閥板一側(cè)設(shè)置有電磁閥組件。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種轉(zhuǎn)盤式芯片分選機(jī)頂針機(jī)構(gòu),其特征在于,所述頂針運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括擺臂以及設(shè)置在所述擺臂一側(cè)的頂針帽。
說(shuō)明書: 一種轉(zhuǎn)盤式芯片分選機(jī)頂針機(jī)構(gòu)技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本實(shí)用新型屬于芯片分選技術(shù)領(lǐng)域,具體是一種轉(zhuǎn)盤式芯片分選機(jī)頂針機(jī)構(gòu)。背景技術(shù)[0002] 目前,在芯片生產(chǎn)過(guò)程中,通常需要對(duì)芯片進(jìn)行分選頂出,現(xiàn)有的芯片頂出機(jī)構(gòu)工作時(shí)芯片穩(wěn)定性較差,容易產(chǎn)生晃動(dòng),亟需改進(jìn)。實(shí)用新型內(nèi)容
[0003] 針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)的不足,本實(shí)用新型實(shí)施例要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種轉(zhuǎn)盤式芯片分選機(jī)頂針機(jī)構(gòu)。[0004] 為解決上述技術(shù)問(wèn)題,本實(shí)用新型提供了如下技術(shù)方案:[0005] 一種轉(zhuǎn)盤式芯片分選機(jī)頂針機(jī)構(gòu),包括第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、頂針機(jī)構(gòu)、第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)以及頂針運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu),[0006] 所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于帶動(dòng)頂晶機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng),[0007] 所述第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于帶動(dòng)所述頂針機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng),以調(diào)節(jié)頂針機(jī)構(gòu)頂晶時(shí)的吸嘴與晶圓三個(gè)中心一致,[0008] 所述頂
聲明:
“轉(zhuǎn)盤式芯片分選機(jī)頂針機(jī)構(gòu)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)