用于cvd合成二硫化鉬過(guò)程的廢氣處理裝置

技術(shù)領(lǐng)域

1.本實(shí)用新型涉及廢氣凈化技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于cvd合成二硫化鉬過(guò)程的廢氣處理裝置。

背景技術(shù)：

2.使用cvd技術(shù)合成二硫化鉬過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生大量廢氣，其中主要為酸性氣體（hcl和hf）和氮氧化物（nox），若不加以處理就排放，會(huì)對(duì)大氣環(huán)境造成污染，實(shí)驗(yàn)室中制備二硫化鉬時(shí)，廢氣通常使用排氣裝置直接排除，但廢氣中的酸性氣體會(huì)腐蝕排氣管道?，F(xiàn)有的廢氣處理裝置大多為大型生產(chǎn)線服務(wù)，其占地面積大，不易于組裝，不適合實(shí)驗(yàn)室中使用，因此急需一種能便于處理實(shí)驗(yàn)室制備二硫化鉬時(shí)產(chǎn)生廢氣的裝置，以保護(hù)實(shí)驗(yàn)人員的安全，同時(shí)保護(hù)大氣環(huán)境不受污染。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

3.本實(shí)用新型的目的是為克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種用于cvd合成二硫化鉬過(guò)程的廢氣處理裝置，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、設(shè)計(jì)合理，占地面積小，便于在實(shí)驗(yàn)室內(nèi)處理廢氣。

4.為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用下述技術(shù)方案：

5.用于cvd合成二硫化鉬過(guò)程的廢氣處理裝置，包括密封殼體，所述密封殼體為空心長(zhǎng)方體，密封殼體中按照廢氣流向依次連接有一次活性炭過(guò)濾器、堿液過(guò)濾器組和二次活性炭過(guò)濾器，所述堿液過(guò)濾器組共設(shè)有順次連接的三個(gè)完全相同的堿液過(guò)濾器，一次活性炭過(guò)濾器處連接有進(jìn)氣管、二次活性炭過(guò)濾器處連接有排氣管，密封殼體的左右兩側(cè)面各開(kāi)有一個(gè)與進(jìn)氣管和出氣管尺寸匹配的通孔，進(jìn)氣管和排氣管穿過(guò)通孔伸出密封殼體。

6.所述進(jìn)氣管和排氣管分別插入一次活性炭過(guò)濾器和二次活性炭過(guò)濾器，進(jìn)氣管遠(yuǎn)離一次活性炭過(guò)濾器的一端固定有橡膠塞，橡膠塞由防腐蝕橡膠制成、且中心設(shè)有供氣體流通的圓形通孔，利用橡膠塞將裝置整體與cvd反應(yīng)裝置尾端連接，并保證無(wú)廢氣泄露至環(huán)境中。

7.所述堿液過(guò)濾器中裝有濃度為15%?25%的naoh溶液，且堿液過(guò)濾器中naoh溶液液位低于堿液過(guò)濾器總高度的80%。

8.所述堿液過(guò)濾器處設(shè)有攪拌裝置，攪拌裝置包括固定在堿液過(guò)濾器頂端的攪拌電機(jī)和與攪拌電機(jī)連接的攪拌槳，攪拌電機(jī)豎向設(shè)置、輸出軸伸向堿液過(guò)濾器內(nèi)，攪拌槳為直葉槳、且靠近堿液過(guò)濾器底面，增加廢氣通入后與液體的接觸面積。

9.所述堿液過(guò)濾器內(nèi)固定有濃度在線監(jiān)測(cè)裝置，濃度在線監(jiān)測(cè)裝置為在線ph計(jì)或在線naoh濃度測(cè)定儀，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)堿液過(guò)濾器內(nèi)的naoh溶液濃度。

10.所述密封殼體內(nèi)固定有堿液儲(chǔ)液槽，堿液儲(chǔ)液槽為由聚乙烯制成的空心長(zhǎng)方體，堿液儲(chǔ)液槽處設(shè)有三組進(jìn)液機(jī)構(gòu)，三組進(jìn)液機(jī)構(gòu)分別對(duì)應(yīng)三個(gè)堿液過(guò)濾器，所述進(jìn)液機(jī)構(gòu)包括水泵和進(jìn)液管，進(jìn)液管的兩端分別連接固定在堿液儲(chǔ)液槽底部和堿液過(guò)濾器底部，水泵固定在進(jìn)液管中段，利用水泵將堿液儲(chǔ)液槽中高濃度的堿液輸送到堿液過(guò)濾器中。

11.所述堿液過(guò)濾器底部開(kāi)有廢液口，廢液口為圓形通孔，廢液口處連接有排液管，排液管穿過(guò)密封殼體側(cè)面的通孔連接至廢液缸處，確保裝置的廢液得到妥善處置。

12.所述排液管處設(shè)有電子閥門，電子閥門在排液管靠近廢液口處。

13.所述密封殼體內(nèi)設(shè)有plc，plc固定在密封殼體內(nèi)壁處，plc分別與攪拌裝置、濃度在線監(jiān)測(cè)裝置、水泵和電子閥門連接，plc根據(jù)濃度在線監(jiān)測(cè)裝置反饋的實(shí)時(shí)信息，調(diào)整攪拌裝置的攪拌功率、水泵的上水速度和電子閥門的開(kāi)關(guān)，保證堿液過(guò)濾器中的堿液濃度能夠有效去除廢氣中的有害成分。

14.所述密封殼體頂面開(kāi)有操作口，操作口為方形通孔，且操作口處固定有與操作口面積相同的封閉門，封閉門鉸鏈于密封殼體且能向外打開(kāi)，封閉門與密封殼體連接處固定有一圈橡膠墊圈，增加二者之間的密閉性；密封殼體底部還設(shè)有升降臺(tái)，便于將裝置整體固定在與cvd裝置齊平的位置，便于二者的對(duì)接。

15.本實(shí)用新型的有益效果是：

16.本裝置利用兩個(gè)活性炭過(guò)濾器和三個(gè)堿液過(guò)濾器對(duì)cvd法合成二硫化鉬過(guò)程的廢氣進(jìn)行處理，同時(shí)利用裝置內(nèi)部的高濃度堿液儲(chǔ)液槽和進(jìn)液機(jī)構(gòu)，根據(jù)堿液過(guò)濾器中堿液的濃度適時(shí)補(bǔ)充堿液以保證過(guò)濾效果，裝置整體占地面積小，便于在多場(chǎng)景中使用，具有極強(qiáng)的具體使用價(jià)值。

附圖說(shuō)明

17.圖1是本裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

18.其中，1.密封殼體；11.升降臺(tái)；12.封閉門；21. 一次活性炭過(guò)濾器；22.二次活性炭過(guò)濾器；201.進(jìn)氣管；202.出氣管；203.橡膠塞；3.堿液過(guò)濾器；31.排液管；32.電子閥門；4.堿液儲(chǔ)液槽；41.進(jìn)液管；42.水泵；5.plc。

具體實(shí)施方式

19.下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說(shuō)明。

20.本說(shuō)明書(shū)所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說(shuō)明書(shū)所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀，并非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的限定條件，故不具技術(shù)上的實(shí)質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本實(shí)用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下，均應(yīng)仍落在本實(shí)用新型所揭示的技術(shù)內(nèi)容涵蓋的范圍內(nèi)。同時(shí)，本說(shuō)明書(shū)中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語(yǔ)，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的范圍，其相對(duì)關(guān)系的改變或調(diào)整，在無(wú)實(shí)質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下，當(dāng)亦視為本實(shí)用新型可實(shí)施的范疇。

21.如圖1所示，用于cvd合成二硫化鉬過(guò)程的廢氣處理裝置，包括密封殼體1，密封殼體1為空心長(zhǎng)方體，密封殼體1的頂面開(kāi)有操作口，操作口為方形通孔，操作扣除固定有與操作口面積相同的封閉門12，封閉門12鉸鏈于密封殼體1且能向外打開(kāi)，封閉門12與密封殼體1連接處固定有一圈橡膠墊圈，增加二者之間的密閉性；密封殼體1底部還設(shè)有升降臺(tái)11，便于將裝置整體固定在與cvd裝置齊平的位置。

22.密封殼體1內(nèi)按照廢氣流向依次連接有一次活性炭過(guò)濾器21、堿液過(guò)濾器組和二次活性炭過(guò)濾器22，一次活性炭過(guò)濾器21處連接有進(jìn)氣管201、二次活性炭過(guò)濾器22處連接

有排氣管202，進(jìn)氣管201和排氣管202分別插入一次活性炭過(guò)濾器21和二次活性炭過(guò)濾器22，進(jìn)氣管201遠(yuǎn)離一次活性炭過(guò)濾器21的一端固定喲橡膠塞203，橡膠塞203由防腐蝕橡膠制成、且中心設(shè)有供氣體流通的圓形通孔；密封殼體1的左右兩側(cè)面各開(kāi)有一個(gè)與進(jìn)氣管201和出氣管202尺寸匹配的通孔，進(jìn)氣管201和出氣管202分別穿過(guò)通孔伸出密封殼體1。

23.堿液過(guò)濾器組共設(shè)有順次連接的三個(gè)完全相同的堿液過(guò)濾器3，堿液過(guò)濾器3中裝有濃度為15%?25%的naoh溶液，且堿液過(guò)濾器3中溶液液位低于堿液過(guò)濾器3總高度的80%；堿液過(guò)濾器3處設(shè)有攪拌裝置，攪拌裝置包括固定在堿液過(guò)濾器3頂端的攪拌電機(jī)和與攪拌電機(jī)連接的攪拌槳，攪拌電機(jī)豎向設(shè)置、輸出軸伸向堿液過(guò)濾器內(nèi)，攪拌槳為直葉槳、且靠近堿液過(guò)濾器底3面；堿液過(guò)濾器3內(nèi)固定有濃度在線監(jiān)測(cè)裝置，濃度在線監(jiān)測(cè)裝置為在線ph計(jì)或在線naoh濃度測(cè)定儀，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)堿液過(guò)濾器3內(nèi)的naoh溶液濃度；堿液過(guò)濾器3底部開(kāi)有廢液口，廢液口為圓形通孔，廢液口處連接有排液管31，排液管31穿過(guò)密封殼體1側(cè)面的通孔連接至廢液缸處，排液管31處設(shè)有電子閥門32，電子閥門32在排液管31靠近廢液口處。

24.密封殼體1內(nèi)還固定有堿液儲(chǔ)液槽4，堿液儲(chǔ)液槽4由聚乙烯制成的空心長(zhǎng)方體，堿液儲(chǔ)液槽4處設(shè)有三組進(jìn)液機(jī)構(gòu)，三組進(jìn)液機(jī)構(gòu)分別對(duì)應(yīng)三個(gè)堿液過(guò)濾器3，所述進(jìn)液機(jī)構(gòu)包括水泵42和進(jìn)液管41，進(jìn)液管41的兩端分別連接固定在堿液儲(chǔ)液槽4底部和堿液過(guò)濾器3底部，水泵42固定在進(jìn)液管41中段，利用水泵41將堿液儲(chǔ)液槽4中高濃度的堿液輸送到堿液過(guò)濾器3中。

25.密封殼體1內(nèi)還固定有plc5，plc5固定在密封殼體1內(nèi)壁處，plc5分別與攪拌裝置、濃度在線監(jiān)測(cè)裝置、水泵42和電子閥門32連接，plc5根據(jù)濃度在線監(jiān)測(cè)裝置反饋的實(shí)時(shí)信息，調(diào)整攪拌裝置的攪拌功率、水泵42的上水速度和電子閥門32的開(kāi)關(guān)，保證堿液過(guò)濾器3中的堿液濃度能夠有效去除廢氣中的有害成分。

26.具體使用時(shí)，按照?qǐng)D示將裝置連接好，并調(diào)節(jié)升降臺(tái)11，使裝置整體與cvd裝置齊平，打開(kāi)密封殼體1上側(cè)的封閉門12，向堿液過(guò)濾器3和堿液儲(chǔ)液槽4中加入naoh溶液，關(guān)閉封閉門12，利用進(jìn)氣管201處的橡膠塞203與cvd裝置的排氣系統(tǒng)緊密連接，在plc5中設(shè)置各組件的控制參數(shù)，開(kāi)始處理廢氣后，根據(jù)堿液過(guò)濾器3中堿液的濃度，實(shí)時(shí)控制攪拌電機(jī)的轉(zhuǎn)速，當(dāng)堿液過(guò)濾器3中堿液濃度較低時(shí)，打開(kāi)電子閥門32，利用排液管31將低濃度堿液排出，然后利用水泵42將高濃度的堿液從堿液儲(chǔ)液槽4中通過(guò)進(jìn)液管41輸入堿液過(guò)濾器3中，兩個(gè)活性炭過(guò)濾器將廢氣中的固體顆粒有效過(guò)濾，經(jīng)本裝置處理的廢氣不再對(duì)環(huán)境造成污染，且本裝置占地面積小，能在使用過(guò)程中實(shí)現(xiàn)堿液濃度恒定，保證處理效果。

27.上述雖然結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式進(jìn)行了描述，但并非對(duì)本實(shí)用新型保護(hù)范圍的限制，所屬領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該明白，在本實(shí)用新型的技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本領(lǐng)域技術(shù)人員不需要付出創(chuàng)造性勞動(dòng)即可做出的各種修改或變形仍在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍以內(nèi)。技術(shù)特征：

1.一種用于cvd合成二硫化鉬過(guò)程的廢氣處理裝置，包括密封殼體，其特征是，所述密封殼體為空心長(zhǎng)方體，密封殼體中按照廢氣流向依次連接有一次活性炭過(guò)濾器、堿液過(guò)濾器組和二次活性炭過(guò)濾器，所述堿液過(guò)濾器組共設(shè)有順次連接的三個(gè)完全相同的堿液過(guò)濾器，一次活性炭過(guò)濾器處連接有進(jìn)氣管、二次活性炭過(guò)濾器處連接有排氣管，密封殼體的左右兩側(cè)面各開(kāi)有一個(gè)與進(jìn)氣管和出氣管尺寸匹配的通孔，進(jìn)氣管和排氣管穿過(guò)通孔伸出密封殼體。2.如權(quán)利要求1所述的用于cvd合成二硫化鉬過(guò)程的廢氣處理裝置，其特征是，所述進(jìn)氣管和排氣管分別插入一次活性炭過(guò)濾器和二次活性炭過(guò)濾器，進(jìn)氣管遠(yuǎn)離一次活性炭過(guò)濾器的一端固定有橡膠塞，橡膠塞由防腐蝕橡膠制成、且中心設(shè)有供氣體流通的圓形通孔。3.如權(quán)利要求1所述的用于cvd合成二硫化鉬過(guò)程的廢氣處理裝置，其特征是，所述堿液過(guò)濾器中裝有濃度為15%?25%的naoh溶液，且堿液過(guò)濾器中naoh溶液液位低于堿液過(guò)濾器總高度的80%。4.如權(quán)利要求3所述的用于cvd合成二硫化鉬過(guò)程的廢氣處理裝置，其特征是，所述堿液過(guò)濾器處設(shè)有攪拌裝置，攪拌裝置包括固定在堿液過(guò)濾器頂端的攪拌電機(jī)和與攪拌電機(jī)連接的攪拌槳，攪拌電機(jī)豎向設(shè)置、輸出軸伸向堿液過(guò)濾器內(nèi)，攪拌槳為直葉槳、且靠近堿液過(guò)濾器底面。5.如權(quán)利要求3所述的用于cvd合成二硫化鉬過(guò)程的廢氣處理裝置，其特征是，所述堿液過(guò)濾器內(nèi)固定有濃度在線監(jiān)測(cè)裝置，濃度在線監(jiān)測(cè)裝置為在線ph計(jì)或在線naoh濃度測(cè)定儀。6.如權(quán)利要求1所述的用于cvd合成二硫化鉬過(guò)程的廢氣處理裝置，其特征是，所述密封殼體內(nèi)固定有堿液儲(chǔ)液槽，堿液儲(chǔ)液槽為由聚乙烯制成的空心長(zhǎng)方體，堿液儲(chǔ)液槽處設(shè)有三組進(jìn)液機(jī)構(gòu)，三組進(jìn)液機(jī)構(gòu)分別對(duì)應(yīng)三個(gè)堿液過(guò)濾器，所述進(jìn)液機(jī)構(gòu)包括水泵和進(jìn)液管，進(jìn)液管的兩端分別連接固定在堿液儲(chǔ)液槽底部和堿液過(guò)濾器底部，水泵固定在進(jìn)液管中段。7.如權(quán)利要求1所述的用于cvd合成二硫化鉬過(guò)程的廢氣處理裝置，其特征是，所述堿液過(guò)濾器底部開(kāi)有廢液口，廢液口為圓形通孔，廢液口處連接有排液管，排液管穿過(guò)密封殼體側(cè)面的通孔連接至廢液缸處。8.如權(quán)利要求7所述的用于cvd合成二硫化鉬過(guò)程的廢氣處理裝置，其特征是，所述排液管處設(shè)有電子閥門，電子閥門在排液管靠近廢液口處。9.如權(quán)利要求1所述的用于cvd合成二硫化鉬過(guò)程的廢氣處理裝置，其特征是，所述密封殼體內(nèi)設(shè)有plc，plc固定在密封殼體內(nèi)壁處，plc分別與攪拌裝置、濃度在線監(jiān)測(cè)裝置、水泵和電子閥門連接。10.如權(quán)利要求1所述的用于cvd合成二硫化鉬過(guò)程的廢氣處理裝置，其特征是，所述密封殼體頂面開(kāi)有操作口，操作口為方形通孔，且操作口處固定有與操作口面積相同的封閉門，封閉門鉸鏈于密封殼體且能向外打開(kāi)，封閉門與密封殼體連接處固定有一圈橡膠墊圈，增加二者之間的密閉性；密封殼體底部還設(shè)有升降臺(tái)。

技術(shù)總結(jié)

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于CVD合成二硫化鉬過(guò)程的廢氣處理裝置，包括密封殼體，所述密封殼體為空心長(zhǎng)方體，密封殼體中按照廢氣流向依次連接有一次活性炭過(guò)濾器、堿液過(guò)濾器組和二次活性炭過(guò)濾器，所述堿液過(guò)濾器組共設(shè)有順次連接的三個(gè)完全相同的堿液過(guò)濾器，一次活性炭過(guò)濾器處連接有進(jìn)氣管、二次活性炭過(guò)濾器處連接有排氣管，進(jìn)氣管和排氣管穿過(guò)通孔伸出密封殼體。本裝置利用兩個(gè)活性炭過(guò)濾器和三個(gè)堿液過(guò)濾器對(duì)CVD法合成二硫化鉬過(guò)程的廢氣進(jìn)行處理，同時(shí)利用裝置內(nèi)部的高濃度堿液儲(chǔ)液槽和進(jìn)液機(jī)構(gòu)，根據(jù)堿液過(guò)濾器中堿液的濃度適時(shí)補(bǔ)充堿液以保證過(guò)濾效果，裝置整體占地面積小，便于在多場(chǎng)景中使用，具有極強(qiáng)的具體使用價(jià)值。值。值。

技術(shù)研發(fā)人員：孫士玉 孫睿浩 許冠辰 肖浦

受保護(hù)的技術(shù)使用者：山東省科學(xué)院新材料研究所

技術(shù)研發(fā)日：2020.12.28

技術(shù)公布日：2021/9/21