本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造工藝，特別涉及一種槽式濕法清洗設(shè)備的控制方法。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中，濕法刻蝕工藝通常采用槽式濕法清洗設(shè)備處理。如圖1所示，傳統(tǒng)的槽式濕法清洗設(shè)備，一個(gè)處理槽裝一種化學(xué)藥液，整個(gè)清洗設(shè)備由多個(gè)處理槽組成。在刻蝕工藝過(guò)程中硅片整體浸泡在充滿化學(xué)藥液的處理槽內(nèi)，化學(xué)藥液定期更換，以保證處理槽的清潔，從而保證產(chǎn)品的質(zhì)量。某些化學(xué)藥液需要頻繁更換，而在其中任意一個(gè)處理槽更換化學(xué)藥液過(guò)程中，硅片無(wú)法進(jìn)行工藝處理。目前的槽式濕法清洗設(shè)備在對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行作業(yè)排序的時(shí)候往往采用產(chǎn)品先進(jìn)機(jī)臺(tái)先處理的順序，未能考慮化學(xué)藥液更換的因素，常常出現(xiàn)由于一個(gè)處理槽化學(xué)藥液更換而出現(xiàn)的整個(gè)設(shè)備停止工作，從而導(dǎo)致浪費(fèi)了槽式濕法清洗設(shè)備的利用率的現(xiàn)象。

如圖1所示，傳統(tǒng)的槽式濕法清洗設(shè)備的另一個(gè)缺點(diǎn)，是存在放置硅片的等待區(qū)域，大量的未處理硅片暫存在等待區(qū)域等待處理。由于機(jī)臺(tái)采用的是產(chǎn)品先進(jìn)機(jī)臺(tái)先處理的順序，所以靈活性較差。當(dāng)有緊急的產(chǎn)品需要優(yōu)先處理的時(shí)候，只能人為到現(xiàn)場(chǎng)把等待區(qū)域里的產(chǎn)品全部取出，然后讓緊急的產(chǎn)品先進(jìn)等待區(qū)等待，這一操作大大浪費(fèi)了人力和時(shí)間，降低了產(chǎn)品的流通速度，從而降低了生產(chǎn)效率。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是，提供一種靈活性較好，能夠提高流通速度和生產(chǎn)效率的槽式濕法清洗設(shè)備的控制方法。

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的技術(shù)方案是：一種槽式濕法清洗設(shè)備的控制方法，所述的槽式濕法清洗設(shè)備包括清洗區(qū)域和未處理產(chǎn)品等待區(qū)域，所述的清洗區(qū)域包括多個(gè)化學(xué)藥液處理槽，每個(gè)化學(xué)藥液處理槽裝有一種化學(xué)藥液或者化學(xué)藥液混合物，包括自動(dòng)設(shè)定槽式濕法清洗設(shè)備中未處理產(chǎn)品等待區(qū)域內(nèi)的未處理產(chǎn)品的派工等級(jí)的步驟，根據(jù)派工等級(jí)的先后順序進(jìn)行處理。

進(jìn)一步的，本發(fā)明提供的槽式濕法清洗設(shè)備的控制方法，所述派工等級(jí)的步驟由連接于槽式濕法清洗設(shè)備的控制軟件實(shí)現(xiàn)。

進(jìn)一步的，本發(fā)明提供的槽式濕法清洗設(shè)備的控制方法，還包括手動(dòng)設(shè)置槽式濕法清洗設(shè)備中未處理產(chǎn)品等待區(qū)域內(nèi)的未處理產(chǎn)品的默認(rèn)等級(jí)的步驟，常規(guī)選擇默認(rèn)等級(jí)的先后順序進(jìn)行處理；當(dāng)出現(xiàn)緊急的產(chǎn)品需要優(yōu)先處理時(shí)，選擇派工等級(jí)的先后順序進(jìn)行處理，調(diào)整槽式濕法清洗設(shè)備中未處理產(chǎn)品等待區(qū)域內(nèi)的未處理產(chǎn)品的派工等級(jí)，根據(jù)派工等級(jí)的先后順序優(yōu)先執(zhí)行緊急的產(chǎn)品的清洗作業(yè)。

進(jìn)一步的，本發(fā)明提供的槽式濕法清洗設(shè)備的控制方法，當(dāng)緊急的產(chǎn)品不在槽式濕法清洗設(shè)備中未處理產(chǎn)品等待區(qū)域內(nèi)時(shí)，最少僅需替換槽式濕法清洗設(shè)備中未處理產(chǎn)品等待區(qū)域內(nèi)的其中一種未處理的產(chǎn)品，調(diào)整派工等級(jí)后，根據(jù)派工等級(jí)的先后順序優(yōu)先執(zhí)行緊急的產(chǎn)品的清洗作業(yè)。

進(jìn)一步的，本發(fā)明提供的槽式濕法清洗設(shè)備的控制方法，還包括當(dāng)某個(gè)化學(xué)藥液處理槽更換化學(xué)藥液時(shí)，執(zhí)行未處理產(chǎn)品等待區(qū)域內(nèi)的其它未處理產(chǎn)品在未更換化學(xué)藥液的其他化學(xué)藥液處理槽中進(jìn)行清洗作業(yè)的步驟。

進(jìn)一步的，本發(fā)明提供的槽式濕法清洗設(shè)備的控制方法，還包括設(shè)定產(chǎn)品處理程序的步驟，當(dāng)產(chǎn)品進(jìn)入化學(xué)藥液處理槽中進(jìn)行清洗作業(yè)時(shí)，執(zhí)行相應(yīng)的產(chǎn)品處理程序。

進(jìn)一步的，本發(fā)明提供的槽式濕法清洗設(shè)備的控制方法，還包括判定化學(xué)藥液處理槽內(nèi)的化學(xué)藥液需要更換的時(shí)間的步驟。

進(jìn)一步的，本發(fā)明提供的槽式濕法清洗設(shè)備的控制方法，在判定化學(xué)藥液處理槽內(nèi)的化學(xué)藥液需要更換的時(shí)間的步驟中，具體包括

步驟一，讀取槽式濕法清洗設(shè)備中每個(gè)化學(xué)藥液處理槽的信息，包括化學(xué)藥液的更換時(shí)間；

步驟二，根據(jù)設(shè)定產(chǎn)品處理程序與化學(xué)藥液處理槽一一對(duì)應(yīng)關(guān)系，通過(guò)分析產(chǎn)品處理程序得到產(chǎn)品需要經(jīng)過(guò)的化學(xué)藥液處理槽；

步驟三，根據(jù)化學(xué)藥液處理槽內(nèi)的化學(xué)藥液的使用時(shí)間和/或使用次數(shù)判定是否需要更換。

進(jìn)一步的，本發(fā)明提供的槽式濕法清洗設(shè)備的控制方法，在每個(gè)化學(xué)藥液處理槽完成產(chǎn)品的清洗作業(yè)后，還包括使用純水處理槽對(duì)該產(chǎn)品進(jìn)行水清洗的步驟。

本發(fā)明提供的槽式濕法清洗設(shè)備的控制方法，當(dāng)選擇派工等級(jí)的順序進(jìn)行處理時(shí)，則可以自動(dòng)的調(diào)整未處理產(chǎn)品等待區(qū)域內(nèi)的未處理產(chǎn)品的派工等級(jí)的先后順序，從而使槽式濕法清洗設(shè)備優(yōu)先執(zhí)行緊急的產(chǎn)品的清洗作業(yè)，其具有靈活性較好，不必浪費(fèi)大量的人力成本和時(shí)間成本，從而提高產(chǎn)品在槽式濕法清洗設(shè)備中的流通速度。通過(guò)自動(dòng)調(diào)整派工順序，還提高了產(chǎn)品的生產(chǎn)效率。

附圖說(shuō)明

圖1是現(xiàn)有的槽式濕法清洗設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明的槽式濕法清洗設(shè)備的控制方法的流程示意圖；

圖3是本發(fā)明更換化學(xué)藥液時(shí)的控制流程示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作詳細(xì)描述：

實(shí)施例一

如圖2所示，本實(shí)施例一提供一種槽式濕法清洗設(shè)備的控制方法，所述的槽式濕法清洗設(shè)備包括清洗區(qū)域和未處理產(chǎn)品等待區(qū)域U，所述的清洗區(qū)域包括多個(gè)化學(xué)藥液處理槽T，每個(gè)化學(xué)藥液處理槽裝有一種化學(xué)藥液或者化學(xué)藥液混合物，包括自動(dòng)設(shè)定槽式濕法清洗設(shè)備中未處理產(chǎn)品P等待區(qū)域內(nèi)的未處理產(chǎn)品的派工等級(jí)的步驟，根據(jù)派工等級(jí)的先后順序進(jìn)行處理。本實(shí)施例中示例了兩個(gè)化學(xué)藥液處理槽T1和T2和兩個(gè)純水處理槽W1和W2，未處理產(chǎn)品示例了3個(gè)分別為P1、P2、P3。

本實(shí)施例一中，當(dāng)選擇派工等級(jí)的順序進(jìn)行處理時(shí)，則可以自動(dòng)的調(diào)整未處理產(chǎn)品等待區(qū)域內(nèi)的未處理產(chǎn)品的派工等級(jí)的先后順序，從而使槽式濕法清洗設(shè)備優(yōu)先執(zhí)行緊急的產(chǎn)品的清洗作業(yè)，其具有靈活性較好，節(jié)省大量的人力成本和時(shí)間成本，由于自動(dòng)調(diào)整的速度要比人工調(diào)整的速度要快，因此，本實(shí)施例一提高了產(chǎn)品在槽式濕法清洗設(shè)備中的流通速度。另外，通過(guò)自動(dòng)調(diào)整派工順序，還提高了產(chǎn)品的生產(chǎn)效率。

作為較佳的實(shí)施方式，本實(shí)施例一中派工等級(jí)的步驟由連接于槽式濕法清洗設(shè)備的控制軟件實(shí)現(xiàn)?？刂栖浖梢园惭b在設(shè)置在槽式濕法清洗設(shè)備的內(nèi)部，或者通過(guò)外部存儲(chǔ)設(shè)備等連通。使用控制軟件的優(yōu)點(diǎn)在于，其可以設(shè)定調(diào)整界面，便于槽式濕法清洗設(shè)備的調(diào)整。

作為較佳的實(shí)施方式，本實(shí)施例一中還包括手動(dòng)設(shè)置槽式濕法清洗設(shè)備中未處理產(chǎn)品等待區(qū)域內(nèi)的未處理產(chǎn)品的默認(rèn)等級(jí)的步驟，常規(guī)選擇默認(rèn)等級(jí)的先后順序進(jìn)行處理；當(dāng)出現(xiàn)緊急的產(chǎn)品需要優(yōu)先處理時(shí)，選擇派工等級(jí)的先后順序進(jìn)行處理，調(diào)整槽式濕法清洗設(shè)備中未處理產(chǎn)品等待區(qū)域內(nèi)的未處理產(chǎn)品的派工等級(jí)，根據(jù)派工等級(jí)的先后順序優(yōu)先執(zhí)行緊急的產(chǎn)品的清洗作業(yè)。即本實(shí)施例一中選擇默認(rèn)等級(jí)的先后順序處理的步驟，將產(chǎn)品放置到槽式濕法清洗設(shè)備的未處理產(chǎn)品的等待區(qū)域后，當(dāng)沒(méi)有緊急的產(chǎn)品優(yōu)先處理時(shí)，則可以選擇默認(rèn)等級(jí)的先后順序進(jìn)行處理。從而使本實(shí)施例一控制方法的靈活性、通用性和兼容性較好。

作為較佳的實(shí)施方式，本實(shí)施例一中提供的槽式濕法清洗設(shè)備的控制方法，當(dāng)緊急的產(chǎn)品不在槽式濕法清洗設(shè)備中未處理產(chǎn)品等待區(qū)域內(nèi)時(shí)，最少僅需替換槽式濕法清洗設(shè)備中未處理產(chǎn)品等待區(qū)域內(nèi)的其中一種未處理的產(chǎn)品，調(diào)整派工等級(jí)后，根據(jù)派工等級(jí)的先后順序優(yōu)先執(zhí)行緊急的產(chǎn)品的清洗作業(yè)。而無(wú)需將未處理產(chǎn)品等待區(qū)域內(nèi)的全部產(chǎn)品取出后，再次人工安排產(chǎn)品的放置順序，從而節(jié)約了人工成本和放置產(chǎn)品順序的時(shí)間。

作為較佳的實(shí)施方式，本實(shí)施例一中提供的槽式濕法清洗設(shè)備的控制方法，在每個(gè)化學(xué)藥液處理槽完成產(chǎn)品的清洗作業(yè)后，還包括使用純水處理槽對(duì)該產(chǎn)品進(jìn)行水清洗的步驟。從而保證濕法刻蝕后的產(chǎn)品的表面清潔度。

實(shí)施例二

如圖3所示，本實(shí)施例二提供的槽式濕法清洗設(shè)備的控制方法，包括當(dāng)某個(gè)化學(xué)藥液處理槽例如T1更換化學(xué)藥液時(shí)，執(zhí)行未處理產(chǎn)品等待區(qū)域內(nèi)的其它未處理產(chǎn)品例如P2在未更換化學(xué)藥液的其他化學(xué)藥液處理槽例如T2中進(jìn)行清洗作業(yè)的步驟。本實(shí)施例二的方案可以單獨(dú)使用，也可以與實(shí)施例一組合使用，在更換化學(xué)藥液時(shí)，不必停止槽式濕法清洗設(shè)備的工作程序，而是選擇執(zhí)行其它未處理產(chǎn)品在未更換化學(xué)藥液的其他化學(xué)藥液處理槽進(jìn)行清洗作業(yè)的方式，從而克服了產(chǎn)品先進(jìn)設(shè)備先處理的順序的缺陷，提高了槽式濕法清洗設(shè)備的利用率，進(jìn)而提高了產(chǎn)品的生產(chǎn)效率。

作為較佳的實(shí)施方式，本實(shí)施例二提供的槽式濕法清洗設(shè)備的控制方法，還包括設(shè)定產(chǎn)品處理程序的步驟，當(dāng)產(chǎn)品進(jìn)入化學(xué)藥液處理槽中進(jìn)行清洗作業(yè)時(shí)，執(zhí)行相應(yīng)的產(chǎn)品處理程序。也就是說(shuō)，每個(gè)不同的產(chǎn)品可以選擇一個(gè)相應(yīng)的產(chǎn)品處理程序。從而達(dá)到精確控制以及相關(guān)產(chǎn)品的清洗作業(yè)的目的。若每個(gè)化學(xué)藥液處理槽都選擇同一處理程序，則會(huì)造成不可估量的后果。

作為較佳的實(shí)施方式，本實(shí)施例二提供的槽式濕法清洗設(shè)備的控制方法，還包括判定化學(xué)藥液處理槽內(nèi)的化學(xué)藥液需要更換的時(shí)間的步驟。具體包括

步驟一，讀取槽式濕法清洗設(shè)備中每個(gè)化學(xué)藥液處理槽的信息，包括化學(xué)藥液的更換時(shí)間；

步驟二，根據(jù)設(shè)定產(chǎn)品處理程序與化學(xué)藥液處理槽一一對(duì)應(yīng)關(guān)系，通過(guò)分析產(chǎn)品處理程序得到產(chǎn)品需要經(jīng)過(guò)的化學(xué)藥液處理槽；

步驟三，根據(jù)化學(xué)藥液處理槽內(nèi)的化學(xué)藥液的使用時(shí)間和/或使用次數(shù)判定是否需要更換。

本實(shí)施例中，化學(xué)藥液的更換可以自動(dòng)更換，也可以人工更換。

上述實(shí)施例一和實(shí)施例二的產(chǎn)品，是指硅片、鍺片或者其它類似物。

本發(fā)明不限于上述具體實(shí)施方式，凡在本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)所作出的各種變化，均在本發(fā)明的保護(hù)范圍。

技術(shù)特征：

1.一種槽式濕法清洗設(shè)備的控制方法，所述的槽式濕法清洗設(shè)備包括清洗區(qū)域和未處理產(chǎn)品等待區(qū)域，所述的清洗區(qū)域包括多個(gè)化學(xué)藥液處理槽，每個(gè)化學(xué)藥液處理槽裝有一種化學(xué)藥液或者化學(xué)藥液混合物，其特征在于，包括自動(dòng)設(shè)定槽式濕法清洗設(shè)備中未處理產(chǎn)品等待區(qū)域內(nèi)的未處理產(chǎn)品的派工等級(jí)的步驟，根據(jù)派工等級(jí)的先后順序進(jìn)行處理。

2.如權(quán)利要求1所述的槽式濕法清洗設(shè)備的控制方法，其特征在于，所述派工等級(jí)的步驟由連接于槽式濕法清洗設(shè)備的控制軟件實(shí)現(xiàn)。

3.如權(quán)利要求1所述的槽式濕法清洗設(shè)備的控制方法，其特征在于，還包括手動(dòng)設(shè)置槽式濕法清洗設(shè)備中未處理產(chǎn)品等待區(qū)域內(nèi)的未處理產(chǎn)品的默認(rèn)等級(jí)的步驟，常規(guī)選擇默認(rèn)等級(jí)的先后順序進(jìn)行處理；當(dāng)出現(xiàn)緊急的產(chǎn)品需要優(yōu)先處理時(shí)，選擇派工等級(jí)的先后順序進(jìn)行處理，調(diào)整槽式濕法清洗設(shè)備中未處理產(chǎn)品等待區(qū)域內(nèi)的未處理產(chǎn)品的派工等級(jí)，根據(jù)派工等級(jí)的先后順序優(yōu)先執(zhí)行緊急的產(chǎn)品的清洗作業(yè)。

4.如權(quán)利要求3所述的槽式濕法清洗設(shè)備的控制方法，其特征在于，當(dāng)緊急的產(chǎn)品不在槽式濕法清洗設(shè)備中未處理產(chǎn)品等待區(qū)域內(nèi)時(shí)，最少僅需替換槽式濕法清洗設(shè)備中未處理產(chǎn)品等待區(qū)域內(nèi)的其中一種未處理的產(chǎn)品，調(diào)整派工等級(jí)后，根據(jù)派工等級(jí)的先后順序優(yōu)先執(zhí)行緊急的產(chǎn)品的清洗作業(yè)。

5.如權(quán)利要求1所述的槽式濕法清洗設(shè)備的控制方法，其特征在于，還包括當(dāng)某個(gè)化學(xué)藥液處理槽更換化學(xué)藥液時(shí)，執(zhí)行未處理產(chǎn)品等待區(qū)域內(nèi)的其它未處理產(chǎn)品在未更換化學(xué)藥液的其他化學(xué)藥液處理槽中進(jìn)行清洗作業(yè)的步驟。

6.如權(quán)利要求5所述的槽式濕法清洗設(shè)備的控制方法，其特征在于，還包括設(shè)定產(chǎn)品處理程序的步驟，當(dāng)產(chǎn)品進(jìn)入化學(xué)藥液處理槽中進(jìn)行清洗作業(yè)時(shí)，執(zhí)行相應(yīng)的產(chǎn)品處理程序。

7.如權(quán)利要求6所述的槽式濕法清洗設(shè)備的控制方法，其特征在于，還包括判定化學(xué)藥液處理槽內(nèi)的化學(xué)藥液需要更換的時(shí)間的步驟。

8.如權(quán)利要求7所述的槽式濕法清洗設(shè)備的控制方法，其特征在于，在判定化學(xué)藥液處理槽內(nèi)的化學(xué)藥液需要更換的時(shí)間的步驟中，具體包括

步驟一，讀取槽式濕法清洗設(shè)備中每個(gè)化學(xué)藥液處理槽的信息，包括化學(xué)藥液的更換時(shí)間；

步驟二，根據(jù)設(shè)定產(chǎn)品處理程序與化學(xué)藥液處理槽一一對(duì)應(yīng)關(guān)系，通過(guò)分析產(chǎn)品處理程序得到產(chǎn)品需要經(jīng)過(guò)的化學(xué)藥液處理槽；

步驟三，根據(jù)化學(xué)藥液處理槽內(nèi)的化學(xué)藥液的使用時(shí)間和/或使用次數(shù)判定是否需要更換。

9.如權(quán)利要求1所述的槽式濕法清洗設(shè)備的控制方法，其特征在于，在每個(gè)化學(xué)藥液處理槽完成產(chǎn)品的清洗作業(yè)后，還包括使用純水處理槽對(duì)該產(chǎn)品進(jìn)行水清洗的步驟。

技術(shù)總結(jié)

本發(fā)明公開(kāi)了一種槽式濕法清洗設(shè)備的控制方法，所述的槽式濕法清洗設(shè)備包括清洗區(qū)域和未處理產(chǎn)品等待區(qū)域，所述的清洗區(qū)域包括多個(gè)化學(xué)藥液處理槽，每個(gè)化學(xué)藥液處理槽裝有一種化學(xué)藥液或者化學(xué)藥液混合物，包括自動(dòng)設(shè)定槽式濕法清洗設(shè)備中未處理產(chǎn)品等待區(qū)域內(nèi)的未處理產(chǎn)品的派工等級(jí)的步驟，根據(jù)派工等級(jí)的先后順序進(jìn)行處理。本發(fā)明靈活性較好，能夠提高流通速度和生產(chǎn)效率。

技術(shù)研發(fā)人員：王春偉;李陽(yáng)柏;張傳民;陳建維

受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海華力微電子有限公司

文檔號(hào)碼：201611041014

技術(shù)研發(fā)日：2016.11.23

技術(shù)公布日：2017.02.22