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稀貴金屬	稀土稀土礦稀土氧化物稀土金屬釹鐵硼小金屬銻鉍銦鍺鎵硒鉭鋯貴金屬白銀
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華東	上海上海保稅區(qū)江蘇南京無錫徐州常州蘇州南通連云港淮安鹽城揚州鎮(zhèn)江泰州宿遷南京港宜興浙江杭州寧波溫州紹興湖州嘉興金華衢州臺州麗水舟山安徽合肥蕪湖蚌埠淮南馬鞍山淮北銅陵安慶黃山阜陽宿州滁州六安宣城池州亳州福建福州廈門漳州泉州三明莆田南平龍巖寧德江西南昌九江上饒撫州宜春吉安贛州景德鎮(zhèn)萍鄉(xiāng)新余鷹潭山東濟南青島淄博棗莊東營煙臺濰坊濟寧泰安威海日照濱州德州聊城臨沂菏澤萊州港龍口港黃島前灣港董家口港日照港青島港威海港煙臺港鄒平萊蕪
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基于業(yè)互聯(lián)網(wǎng)平臺的半導體制造設備維修方法

658 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 09:20:06

本發(fā)明公開了一種基于業(yè)互聯(lián)網(wǎng)平臺的半導體制造設備維修方法，包括：對小樣本失效數(shù)據(jù)進行處理，所述處理包括數(shù)據(jù)清洗與特征提取，數(shù)據(jù)集成與變換；建立基于確定分布、大樣本、多源信息的可靠性評估模型，根據(jù)可靠性評估模型進行數(shù)據(jù)可靠性評估；基于時效性和有效性下數(shù)據(jù)的健康狀態(tài)評估，根據(jù)評估結果進行預防性維修決策；基于深度學習進行數(shù)據(jù)的特征提取、基于深度置信網(wǎng)絡進行特征診斷、基于診斷結果進行預測性狀態(tài)維修決策；本發(fā)明能夠提高維修效率，節(jié)約維修資源。

聲明：

“基于業(yè)互聯(lián)網(wǎng)平臺的半導體制造設備維修方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)