本發(fā)明提供了一種預(yù)測晶圓失效率的方法及其裝置。通過對多個目標(biāo)晶圓的預(yù)定項目的測量結(jié)果和所述預(yù)定項目對應(yīng)的項目失效率進(jìn)行擬合運算,以獲得目標(biāo)晶圓的預(yù)測失效率,進(jìn)而能夠在晶圓的生產(chǎn)過程中即可以高效準(zhǔn)確的預(yù)測目標(biāo)晶圓的晶圓失效率。
聲明:
“預(yù)測晶圓失效率的方法及其裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)