本發(fā)明公開了一種渦流膜厚傳感器,涉及無損檢測技術(shù)領(lǐng)域。該傳感器包括:激勵線圈、對消線圈、磁傳感器、激勵電路和驅(qū)動分析電路,其中,激勵線圈位于待測樣品的上方,用于產(chǎn)生激勵磁場;對消線圈與激勵線圈串聯(lián)連接,且與激勵線圈同軸,用于產(chǎn)生對消磁場;磁傳感器位于激勵線圈與對消線圈之間,用于測量待測樣品、激勵線圈與對消線圈之間的磁感應(yīng)強(qiáng)度信號;激勵電路分別與激勵線圈和對消線圈連接,用于產(chǎn)生激勵信號;驅(qū)動分析電路分別與激勵電路和磁傳感器連接,用于根據(jù)激勵信號和磁感應(yīng)強(qiáng)度信號確定待測樣品的膜厚。本發(fā)明能夠降低渦流膜厚測量對設(shè)備動態(tài)范圍的要求,使磁傳感器的高靈敏性能可以充分發(fā)揮,因此可以大幅提高膜厚分辨能力。
聲明:
“渦流膜厚傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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