本實(shí)用新型公開了一種三角法非接觸式光學(xué)元件厚度測(cè)量?jī)x,包括測(cè)量?jī)x器本體,所述的測(cè)量?jī)x器由光源系統(tǒng)、測(cè)量平臺(tái)、圖像獲取及處理顯示系統(tǒng)組成,所述光源系統(tǒng)分別由LED光源和會(huì)聚透鏡組成;所述測(cè)量平臺(tái)分別由軸臺(tái)和凹型測(cè)量承座組成;凹型測(cè)量承座固定于軸臺(tái)上,軸臺(tái)是能沿A-A軸上下移動(dòng)調(diào)節(jié)的一維軸臺(tái),用于調(diào)節(jié)凹型測(cè)量承座的高度,凹型測(cè)量承座內(nèi)自下而上依次放置有基準(zhǔn)元件或待測(cè)元件;所述圖像獲取及處理顯示系統(tǒng)分別由鏡頭、CMOS圖像傳感器及信息處理顯示單元組成。本實(shí)用新型具有測(cè)量精度高、速度快的特點(diǎn),適合快速無損檢測(cè)。
聲明:
“三角法非接觸式光學(xué)元件厚度測(cè)量?jī)x” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)