本發(fā)明涉及一種電子束無(wú)損顯微分層內(nèi)窺透視多層結(jié)構(gòu)集成電路
檢測(cè)儀,包括由電子槍、射線校正線圈、第一聚光鏡,第二聚光鏡、物鏡、物鏡光欄、偏轉(zhuǎn)線圈、二次電子探頭、背散射電子探頭等所組成的專用掃描電子顯微鏡,所述的檢測(cè)儀還包括分層透表儀。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)一是該檢測(cè)設(shè)備具有能無(wú)損顯微分層內(nèi)窺透視多層結(jié)構(gòu)IC(集成電路)和SM(半導(dǎo)體)的分層功能;二是能夠透過(guò)表面絕緣層無(wú)損顯微內(nèi)窺透視IC和SM的透表功能。
聲明:
“電子束無(wú)損顯微分層內(nèi)窺透視多層結(jié)構(gòu)集成電路檢測(cè)儀” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)