本發(fā)明公開了一種多孔硅基三氧化鎢納米棒復(fù)合結(jié)構(gòu)氣敏傳感器元件的制備方法，采用雙槽電化學(xué)腐蝕法在p型單面拋光的單晶硅片的拋光表面制備多孔硅層，利用水熱法在多孔硅上原位生長氧化鎢納米棒，制得復(fù)合結(jié)構(gòu)的多孔硅基三氧化鎢納米棒，再利用磁控濺射法在其表面沉積形成兩個(gè)鉑點(diǎn)電極。本發(fā)明提供了一種制備過程簡單，易于控制、實(shí)現(xiàn)室溫下對氮氧化物氣體探測，具有高靈敏度等優(yōu)異氣敏特性的新型多孔硅基三氧化鎢納米棒復(fù)合結(jié)構(gòu)的氣敏傳感器元件。