本發(fā)明公開(kāi)一種基于高純石英壓力敏感元的光纖傳感器及其制備方法,包括光纖、石英套管、高純石英壓力敏感元;石英套管內(nèi)設(shè)有通孔,所述通孔內(nèi)插入所述光纖;石英壓力敏感元與石英套管連接。本發(fā)明能夠適用于除氫氟酸和150℃以上的熱磷酸以外的耐腐蝕等惡劣環(huán)境,因生物組織對(duì)石英材料不排斥所以也適用于顱內(nèi)壓的監(jiān)測(cè)等應(yīng)用;并通過(guò)激光熱熔的方式免膠固定,能夠提高穩(wěn)定、可靠性和適用范圍;石英壓力敏感元的厚度由光學(xué)冷加工工藝控制,無(wú)需化學(xué)腐蝕等工藝,提高光纖傳感頭的穩(wěn)定性、可靠性和壽命;本發(fā)明制作過(guò)程簡(jiǎn)單、快捷,傳感器安全可靠、穩(wěn)定性好,結(jié)合傳統(tǒng)的光學(xué)冷加工工藝能夠?qū)崿F(xiàn)極小厚度的石英壓力敏感元熱熔。
聲明:
“基于高純石英壓力敏感元的光纖傳感器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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