本發(fā)明公開了一種熔石英元件的飛秒激光改性裝置及其損傷點(diǎn)復(fù)合修復(fù)方法,包括損傷點(diǎn)尺寸測(cè)量、飛秒激光改性、溶液腐蝕和殘液清洗的步驟。采用以上技術(shù)方案的熔石英元件的飛秒激光改性裝置及其損傷點(diǎn)復(fù)合修復(fù)方法,先利用飛秒激光改性裝置對(duì)熔石英元件需要去除的部分勾勒輪廓改性,再利用化學(xué)溶劑進(jìn)行去除,不僅能夠快速地去除包含損傷點(diǎn)的熔石英塊體,完成對(duì)損傷點(diǎn)的復(fù)合修復(fù),具有高效穩(wěn)定的特點(diǎn),而且可以避免熱應(yīng)力的殘留,不影響熔石英元件的閾值。
聲明:
“熔石英元件的飛秒激光改性裝置及其損傷點(diǎn)復(fù)合修復(fù)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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