一種用于確定真空系統(tǒng)中的壓力的方法，其中所述方法包括以下步驟：a）在樣品室中產(chǎn)生（101）等離子體，所述樣品室與所述真空系統(tǒng)流體動態(tài)連接并且與第一電極和第二電極電接觸；b）測量（102）在所述第一電極和所述第二電極之間流過所述等離子體的電流的電流強度；c）測量（103）從所述等離子體發(fā)射的第一波長范圍的電磁輻射的第一輻射強度，其中所述第一波長范圍包含第一化學元素的第一等離子體物質的至少一個第一發(fā)射線；d）測量（104）從所述等離子體發(fā)射的第二波長范圍的電磁輻射的第二輻射強度，其中所述第二波長范圍包含所述第一化學元素的第一等離子體物質的第二發(fā)射線或所述第一化學元素的第二等離子體物質的第二發(fā)射線，以及其中所述第二發(fā)射線位于所述第一波長范圍外；以及e）根據(jù)所測量的電流強度、所測量的第一輻射強度和所測量的第二輻射強度確定（105）所述真空系統(tǒng)中的壓力。
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“確定壓力的方法和壓力傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。
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編輯：管理員
來源：中冶有色技術網(wǎng)
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2025年03月28日 ~ 30日 
