本發(fā)明公開提升硅納米線氣敏性能的改性方法及其氣敏傳感器,首先使用氫氟酸水溶液進行硅片表面改性,再進行金屬輔助化學(xué)刻蝕硅納米線,最后制作雙頂點電極形成氣敏傳感器。本發(fā)明通過氫氟酸水溶液處理使得形成頂端聚合結(jié)構(gòu)的多孔性硅納米線氣敏傳感器,在雙頂點電極間形成了更多條導(dǎo)電通路,使更多的多孔性硅納米線參與氣敏反應(yīng),進而在室溫下檢測超低濃度的氮氧化物氣體,具有高靈敏度、良好選擇性的優(yōu)點。該方法具有設(shè)備簡單、操作方便、可重復(fù)性好、成本低廉等優(yōu)點,可以更好的實現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn)。
聲明:
“提升硅納米線氣敏性能的改性方法及其氣敏傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)