本實用新型屬于無機化學儀器分析領(lǐng)域,具體涉及一種真空實驗平臺。目的在于提供一種啟動速度快、靈敏度高、漏點定位準確同時又具備抽空功能的真空實驗平臺。該平臺包括真空系統(tǒng)、為真空系統(tǒng)各部件提供電源的電源控制系統(tǒng)、與被檢工件進行匹配連接的接口系統(tǒng),其中真空系統(tǒng)為被檢工件提供真空環(huán)境和真空指示;電源控制系統(tǒng)控制整機、機械泵、分子泵、離子泵、復(fù)合真空計等部件的電源。接口系統(tǒng)為待抽系統(tǒng)、工件提供形態(tài)各異的接口和轉(zhuǎn)換頭。本平臺在準確定位焊接器件的漏點、質(zhì)譜計制造真空系統(tǒng)輔助抽空、真空系統(tǒng)輔助運行中效果明顯,同時,在質(zhì)譜儀真空實驗中,能為離子源等試驗提供真空環(huán)境;具備抽速快、啟動迅速、使用方便、多功能等特點。
聲明:
“真空實驗平臺” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)