本發(fā)明屬于化學(xué)機(jī)械拋光液技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種基于高純球形硅溶膠的環(huán)保型化學(xué)機(jī)械拋光液及其制備方法和拋光方法。粗拋拋光液包括以下重量百分比的各組分:高純球形硅溶膠0.5?25%,表面活性劑0.15?0.5%,氧化劑2?5%,pH調(diào)節(jié)劑10?20%,螯合劑2?5%,余量為水。精拋拋光液包括以下重量百分比的各組分:高純球形硅溶膠0.5?30%,表面活性劑0.25?0.70%,氧化劑2?5%,pH調(diào)節(jié)劑10?18%,螯合劑2?5%,余量為水。本發(fā)明所提供的拋光液高純、穩(wěn)定,經(jīng)測試后表面光澤度高、去除率高、平坦均勻,幾乎無劃痕,無污染物,拋光效果優(yōu)異。
聲明:
“基于高純球形硅溶膠的環(huán)保型化學(xué)機(jī)械拋光液及其制備方法和拋光方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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