本發(fā)明提供了一種化學(xué)機械研磨設(shè)備工藝能力的監(jiān)控方法,在所述晶圓的邊緣上形成多個測試區(qū)域,然后在每個所述測試區(qū)域中形成沿著所述測試區(qū)域長度方向排布的金屬線,對所述晶圓進行化學(xué)機械研磨工藝后,所述金屬線的厚度也會隨之改變,獲取每個所述金屬線的電阻分布圖,由于所述金屬線的截面寬度處處相等,所述金屬線的電阻僅與所述金屬線的厚度相關(guān),可以根據(jù)所述電阻分布圖可以反饋出所述化學(xué)機械研磨設(shè)備工藝能力的好壞,實現(xiàn)在線監(jiān)控所述化學(xué)機械研磨設(shè)備工藝能力,當(dāng)所述化學(xué)機械研磨設(shè)備工藝能力不滿足控制要求時,可以及時的調(diào)整化學(xué)機械研磨設(shè)備的工藝參數(shù),防止批量性不良品的產(chǎn)生,提高了晶圓的良率,從而降低了制造成本。
聲明:
“化學(xué)機械研磨設(shè)備工藝能力的監(jiān)控方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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