本實(shí)用新型提供了化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備用拋光臺溫度控制裝置,涉及化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備上用的拋光臺溫度控制裝置技術(shù)領(lǐng)域。包括拋光臺的溫度檢測部分,與流體循環(huán)式管道相連的換熱器、泵和減壓閥,流體管道中設(shè)有溫度變送器、流量變送器和流量調(diào)節(jié)閥,拋光臺溫度檢測部分、流量變送器、溫度變送器分別通過拋光臺溫度采集模塊、管道流量采集模塊、管道溫度采集模塊和主機(jī)或其它控制設(shè)備連接,主機(jī)或其它控制設(shè)備通過流量控制器和流量調(diào)節(jié)閥連接,主機(jī)或其它控制設(shè)備通過溫度控制器和換熱器連接。采用此裝置可使拋光臺較快速穩(wěn)定地達(dá)到預(yù)設(shè)溫度,控制化學(xué)反應(yīng)的速度,得到均勻的拋光去除率,提高拋光質(zhì)量。特別適用于半導(dǎo)體晶圓化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備上。
聲明:
“化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備用拋光臺溫度控制裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)