本實(shí)用新型提供了一種氯
硅烷廢液的凈化回收裝置。該凈化回收裝置包括:過(guò)濾單元,包括一個(gè)或多個(gè)并聯(lián)設(shè)置的過(guò)濾器,各過(guò)濾器設(shè)置有氯硅烷廢液入口,氯硅烷廢液通過(guò)各過(guò)濾器后得到固體渣和過(guò)濾液,且過(guò)濾器的底部設(shè)置有固體渣出口,過(guò)濾器的頂部設(shè)置有過(guò)濾液出口;提純塔,提純塔的入口與過(guò)濾液出口相連通,過(guò)濾液通過(guò)提純塔后得到氯硅烷液體和提純后殘余液,提純塔的底部設(shè)置有提純后殘余液出口,提純塔的頂部設(shè)置有氯硅烷液體出口,提純后殘余液出口與氯硅烷廢液入口相連通。整個(gè)系統(tǒng)操作、運(yùn)行可靠,氯硅烷回收率高,純度高,而且在節(jié)能降耗、環(huán)保方面有顯著的效果。
聲明:
“氯硅烷廢液的凈化回收裝置” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)