本發(fā)明公開了一種電子級超純水處理系統(tǒng)及工藝,包括反滲透系統(tǒng)、深度處理系統(tǒng)和末端超濾系統(tǒng);反滲透系統(tǒng)包括通過管路依次連接的一級RO水箱、RO高壓泵、RO裝置和堿封RO水箱,其中一級RO水箱與軟化水不合格水箱連接,軟化水合格水箱直接與堿封RO水箱連接;深度處理系統(tǒng)通過管路連接在堿封RO水箱的后端,深度處理系統(tǒng)包括通過管路依次連接的EDI進水泵、EDI裝置、氮封水箱、脫氣系統(tǒng)、終端拋光混床和終端供水泵。本發(fā)明采用上述結(jié)構(gòu)的一種電子級超純水處理系統(tǒng)及工藝,去除水中的不純物,滿足純水水質(zhì)的要求,整個純水處理流程中能夠連續(xù)供水,減少酸堿等廢水的產(chǎn)生,降低能耗,減少了化學(xué)藥品的使用量。
聲明:
“電子級超純水處理系統(tǒng)及工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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