一種用于臭氧深度氧化處理工業(yè)廢水的方法，來(lái)自廢水罐的工業(yè)廢水經(jīng)液體流量計(jì)調(diào)節(jié)流量后經(jīng)由二階微混反應(yīng)器的進(jìn)水口進(jìn)入二階微混反應(yīng)器；從催化劑加入口連續(xù)向二階微混反應(yīng)器加入催化劑，調(diào)節(jié)回流流量計(jì)至全回流；開(kāi)啟臭氧發(fā)生器，氧氣儲(chǔ)氣罐中的氧氣經(jīng)臭氧發(fā)生器形成的臭氧經(jīng)由緩沖罐、氣體流量計(jì)進(jìn)入二階微混反應(yīng)器的進(jìn)氣口，在二階微混反應(yīng)器內(nèi)的臭氧與工業(yè)廢水充分接觸反應(yīng)；每10分鐘分別取尾氣出口臭氧含量和廢水出口水中COD值，達(dá)到水質(zhì)要求后，關(guān)閉回流流量計(jì)，采出符合要求的處理廢水；處理后的廢水從二階微混反應(yīng)器出水口流出，部分廢水與原廢水回流進(jìn)入二階微混反應(yīng)器，部分廢水達(dá)標(biāo)排放；經(jīng)過(guò)充分反應(yīng)后的尾氣從二階微混反應(yīng)器的出氣口達(dá)標(biāo)排放。