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以二氧化硅和氫氣為原料制備多晶硅的方法

1012   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 15:02:22
本發(fā)明涉及一種以高純二氧化硅和氫氣為原料制備多晶硅的方法,屬于非金屬礦深加工技術(shù)領(lǐng)域。以高純H2為還原劑、以高純SiO2為硅源,先在高溫1250?1300℃下通入H2,使SiO2被還原成SiO,O與H2反應(yīng)生成H2O;然后再升溫到1350℃通入H2,把溫度控制在1350?1400℃之間。此時SiO被H2還原成高純Si,SiO中的O與H2發(fā)生氧化還原反應(yīng)后生成H2O,整個制備過程對環(huán)境無任何污染。
聲明:
“以二氧化硅和氫氣為原料制備多晶硅的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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