本發(fā)明公開了一種鈦硅鉬合金靶材及其制備方法,其制備方法包括:將硅粉和鉬粉在真空或高純氬氣保護(hù)下混合;將混合后的鉬?硅粉末燒結(jié),獲得鉬硅合金塊;將所述鉬硅合金塊破碎成鉬硅合金粉;將鈦粉與所述鉬硅合金粉在真空或高純氬氣保護(hù)下混合;將混合均勻的所述鈦粉與所述鉬硅合金粉進(jìn)行冷等靜壓壓制,獲得鈦硅鉬合金坯料;將所述鈦硅鉬合金坯料裝入包套中,進(jìn)行脫氣處理;將經(jīng)脫氣處理的包套封焊后,通過熱等靜壓燒結(jié)獲得合金錠坯;將壓制后的所述合金錠坯依次進(jìn)行機(jī)加工和清洗,獲得鈦硅鉬合金靶材。本發(fā)明制得的鈦硅鉬合金靶材具有致密度高、無氣孔和偏析,組織均勻,晶粒細(xì)小,規(guī)格尺寸多等優(yōu)點。
聲明:
“鈦硅鉬合金靶材及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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