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平板顯示器觸摸屏用鋁稀土合金旋轉(zhuǎn)濺射靶材的制備方法及其制備靶材

858   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 14:58:02
本發(fā)明公開了一種平板顯示器觸摸屏用鋁稀土合金旋轉(zhuǎn)濺射靶材的制備方法及其制備靶材,其制備方法包括以下步驟:粉末制備,冷等靜壓,真空燒結(jié),熱等靜壓,機(jī)械加工,銦綁定。該方法工藝簡單,操作方便,在熱等靜壓時(shí),不需要常規(guī)的包套及氬弧焊,減少后續(xù)工序,可大靶管直接進(jìn)行熱等靜壓,降低生產(chǎn)成本。本方法制備的鋁稀土合金旋轉(zhuǎn)濺射靶材成分均勻,長度可達(dá)到4000mm或更長,靶管厚度可達(dá)到25mm,靶材相對密度≥99.9%,純度≥99.99%,晶粒尺寸小于30微米,所制備的旋轉(zhuǎn)靶材屬于高端旋轉(zhuǎn)靶材,可以運(yùn)用到更為廣泛的領(lǐng)域。
聲明:
“平板顯示器觸摸屏用鋁稀土合金旋轉(zhuǎn)濺射靶材的制備方法及其制備靶材” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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