本發(fā)明公開(kāi)了一種嵌套光柵結(jié)構(gòu)的雙極性自驅(qū)動(dòng)偏振光探測(cè)器,屬于光電探測(cè)領(lǐng)域。所述探測(cè)器為嵌套光柵結(jié)構(gòu),包括二氧化硅/硅襯底、設(shè)置于襯底上的金屬納米線光柵陣列,包覆于金屬納米線光柵陣列外的半導(dǎo)體層以及包覆于半導(dǎo)體層外的透明導(dǎo)電層。該探測(cè)器可實(shí)現(xiàn)正交的TE和TM偏振光照下器件在零偏壓下獲得等大反向的信號(hào)電流,從而有效規(guī)避掉背景自然光對(duì)信號(hào)光的干擾,大幅提升偏振探測(cè)器的探測(cè)能力。另外,針對(duì)該納米級(jí)探測(cè)器,在制備過(guò)程中,為盡可能避免由于尺寸誤差所帶來(lái)的光學(xué)性能及電學(xué)性能的變化,本申請(qǐng)?jiān)诶么趴貫R射法在氧化錫層外制備導(dǎo)電層時(shí),先通過(guò)原子層沉積法在
鈣鈦礦層外生長(zhǎng)一層氧化錫作為犧牲層。
聲明:
“嵌套光柵結(jié)構(gòu)的雙極性自驅(qū)動(dòng)偏振光探測(cè)器” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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