本發(fā)明涉及一種具有溝槽陣列結(jié)構(gòu)的微納單晶柔性光電探測器及其制備,制備方法包括以下步驟:1)制備具有溝槽陣列微納結(jié)構(gòu)的硅模板;2)采用熱壓印方式將硅模板上的溝槽陣列微納結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)移至柔性基底上;3)在柔性基底上制備
鈣鈦礦微納單晶;4)在柔性基底的鈣鈦礦微納單晶上磁控濺射Cu電極,即得到具有溝槽陣列結(jié)構(gòu)的微納單晶柔性光電探測器。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明可實現(xiàn)低成本、大面積構(gòu)筑柔性光電探測器,且光電轉(zhuǎn)換性能有所提升。
聲明:
“具有溝槽陣列結(jié)構(gòu)的微納單晶柔性光電探測器及其制備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)