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多晶硅生產(chǎn)廢水的處理回收系統(tǒng)

573   編輯:中冶有色網(wǎng)   來源:內(nèi)蒙古大全半導(dǎo)體有限公司  
2024-11-21 16:32:17
權(quán)利要求 1.一種多晶硅生產(chǎn)廢水的處理回收系統(tǒng),其特征在于,其包括廢水管線、吸附樹脂儲(chǔ)料裝置、堿液管線、吸附池、壓濾機(jī)、后處理系統(tǒng)、鹽酸管線、脫附池和離心機(jī);所述廢水管線的出水端、所述吸附樹脂儲(chǔ)料裝置的出料口和所述堿液管線的出液口均與所述吸附池的進(jìn)口連接;所述吸附池的出液口與所述壓濾機(jī)的進(jìn)液口連通,所述壓濾機(jī)的出水口與所述后處理系統(tǒng)的氟離子沉降池的進(jìn)水口連通;所述壓濾機(jī)的濾泥出口和所述鹽酸管線的出液端均與所述脫附池的進(jìn)口連接,所述脫附池的泥漿出口與所述離心機(jī)的進(jìn)泥口連通,所述離心機(jī)的樹脂出口與所述吸附池的進(jìn)口連通。 2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅生產(chǎn)廢水的處理回收系統(tǒng),其特征在于,所述后處理系統(tǒng)包括按照廢水處理方向依次連接設(shè)置的所述氟離子沉降池、絮凝池、沉淀池、調(diào)節(jié)池和接觸氧化池;石灰乳藥箱的出口與所述氟離子沉降池的進(jìn)藥口連通;混凝劑藥箱和絮凝劑藥箱的出口均與所述絮凝池的進(jìn)藥口連通。 3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種多晶硅生產(chǎn)廢水的處理回收系統(tǒng),其特征在于,其還包括污泥暫存池,所述氟離子沉降池和所述沉淀池的污泥出口均與所述污泥暫存池的進(jìn)口連通。 4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種多晶硅生產(chǎn)廢水的處理回收系統(tǒng),其特征在于,在所述接觸氧化池內(nèi)設(shè)有曝氣器,所述曝氣器的進(jìn)風(fēng)口與外設(shè)的曝氣鼓風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口連通。 5.根據(jù)權(quán)利要求2-4任一所述的一種多晶硅生產(chǎn)廢水的處理回收系統(tǒng),其特征在于,在所述吸附池、所述脫附池、所述氟離子沉降池、所述絮凝池和所述調(diào)節(jié)池內(nèi)分別設(shè)置有攪拌機(jī)構(gòu)。 說明書 技術(shù)領(lǐng)域 [0001]本實(shí)用新型涉及多晶硅生產(chǎn)廢水處理回收技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種多晶硅生產(chǎn)廢水的處理回收系統(tǒng)。 背景技術(shù) [0002]電子級(jí)多晶硅是集成電路的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料,其使用改良西門子法生產(chǎn),生產(chǎn)過程中會(huì)產(chǎn)生大量的清洗廢水,其中含有大量的單質(zhì)硅,具體的:1、多晶硅生產(chǎn)過程中需要用高純水對反應(yīng)設(shè)備、管道和反應(yīng)釜等進(jìn)行定期清洗,以去除在產(chǎn)品硅棒生產(chǎn)過程中附著在上述設(shè)備、管道和反應(yīng)釜內(nèi)壁上的不定型硅粉;2、在后處理清洗工序,會(huì)對破碎后的硅塊進(jìn)行沖洗;由于破碎過程會(huì)產(chǎn)生微細(xì)硅粒、硅粉,會(huì)影響產(chǎn)品質(zhì)量,需要用高純水將破碎后硅塊表面的硅粉清除干凈,以減少對后續(xù)程序的污染。且
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