權(quán)利要求書： 1.一種鍍層測厚儀的平面XY微動(dòng)裝置，其特征在于，包括：樣品承載臺(tái)(5)、滑臺(tái)上座(6)、滑臺(tái)中座(7)和滑臺(tái)底座(9)，所述滑臺(tái)中座(7)在X方向與所述滑臺(tái)底座(9)滑動(dòng)連接，所述滑臺(tái)上座(6)在Y方向上與所述滑臺(tái)中座(7)滑動(dòng)連接；所述滑臺(tái)底座(9)的一側(cè)設(shè)置有X軸傳動(dòng)定位座(10)，所述滑臺(tái)中座(7)的一側(cè)設(shè)置有X軸絲桿螺母座(15)，所述樣品承載臺(tái)(5)安裝在所述滑臺(tái)上座(6)上；X軸傳動(dòng)絲桿(13)的一端與所述X軸傳動(dòng)定位座(10)的一端可樞轉(zhuǎn)地連接，所述X軸傳動(dòng)定位座(10)的另一端可樞轉(zhuǎn)地安裝有Y軸傳動(dòng)花鍵軸(20)，所述X軸傳動(dòng)絲桿(13)的另一端可樞轉(zhuǎn)地穿設(shè)在所述Y軸傳動(dòng)花鍵軸(20)中，所述X軸絲桿螺母座(15)安裝在所述X軸傳動(dòng)絲桿(13)上，所述Y軸傳動(dòng)花鍵軸(20)上安裝有Y軸傳動(dòng)錐齒輪(19)；所述滑臺(tái)中座(7)的另一側(cè)設(shè)置有Y軸傳動(dòng)定位座(26)，所述滑臺(tái)上座(6)的一側(cè)設(shè)置有Y軸絲桿螺母座(27)；所述Y軸傳動(dòng)定位座(26)上可樞轉(zhuǎn)地安裝有Y軸傳動(dòng)絲桿(28)，所述Y軸絲桿螺母座(27)安裝在所述Y軸傳動(dòng)絲桿(28)上，所述Y軸傳動(dòng)絲桿(28)的一端設(shè)置有用于與所述Y軸傳動(dòng)錐齒輪(19)配合的Y軸從動(dòng)錐齒輪(24)；所述X軸傳動(dòng)絲桿(13)與所述Y軸傳動(dòng)絲桿(28)垂直設(shè)置，所述X軸傳動(dòng)絲桿(13)的一端設(shè)置有X軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部(23)，所述Y軸傳動(dòng)花鍵軸(20)上設(shè)置有Y軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部(22)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍層測厚儀的平面XY微動(dòng)裝置，其特征在于，所述滑臺(tái)中座(7)通過X軸交叉滾珠直線導(dǎo)軌(8a)安裝在所述滑臺(tái)底座(9)上，所述滑臺(tái)上座(6)通過Y軸交叉滾珠直線導(dǎo)軌(8b)安裝在所述滑臺(tái)中座(7)上。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍層測厚儀的平面XY微動(dòng)裝置，其特征在于，所述X軸傳動(dòng)定位座(10)的一個(gè)軸承孔內(nèi)背對背地安裝有兩個(gè)用于與所述X軸傳動(dòng)絲桿(13)連接的第一角接觸球軸承(40)，所述X軸傳動(dòng)定位座(10)的另一個(gè)軸承孔內(nèi)安裝有兩個(gè)用于與所述Y軸傳動(dòng)花鍵軸(20)連接的第一深溝球軸承(34a)。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍層測厚儀的平面XY微動(dòng)裝置，其特征在于，所述X軸絲桿螺母座(15)的遠(yuǎn)離所述Y軸傳動(dòng)錐齒輪(19)的一端設(shè)置有X軸梯形螺母(14a)，所述X