權(quán)利要求書: 1.一種高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀,其特征在于,包括發(fā)射X光射線的X光管、將所述X光管聚焦的毛細(xì)管組件,和將所述毛細(xì)管組件與所述X光管出X光口進(jìn)行裝配的安裝支架;所述毛細(xì)管組件包括光纖管,所述光纖管內(nèi)設(shè)置有豎直的主導(dǎo)光孔和圍繞其設(shè)置的多個(gè)毛細(xì)導(dǎo)光孔;所述毛細(xì)導(dǎo)光孔包括與所述主導(dǎo)光孔平行的平行段,和與所述平行段連通的向所述主導(dǎo)光孔折彎的折彎段;所述安裝支架包括安裝所述毛細(xì)管組件的安裝柱,和將所述安裝柱與所述出X光口進(jìn)行裝配的調(diào)節(jié)套;所述安裝柱內(nèi)設(shè)置有與所述毛細(xì)管組件外形匹配的第一通孔,外側(cè)表面上端設(shè)置有環(huán)形凸緣;所述調(diào)節(jié)套上設(shè)置有與所述出X光口配合的第一凹槽,所述第一凹槽內(nèi)壁與所述出X光口存在間隙;所述第一凹槽底部設(shè)置有與所述環(huán)形凸緣配合的第二凹槽,所述第二凹槽底部設(shè)置有與所述安裝柱匹配的第二通孔;所述調(diào)節(jié)套上設(shè)置有調(diào)節(jié)所述安裝柱水平位移的調(diào)節(jié)件;
所述X光管下表面轉(zhuǎn)動(dòng)連接有至少三個(gè)圍繞所述調(diào)節(jié)套均勻分布的調(diào)節(jié)桿;所述調(diào)節(jié)桿包括連接桿和調(diào)節(jié)凸輪;所述連接桿一端與所述調(diào)節(jié)凸輪固定連接,另一端與所述X光管下表面轉(zhuǎn)動(dòng)連接且端部設(shè)置有縱向活動(dòng)槽,所述活動(dòng)槽兩端均與所述連接桿側(cè)表面連通;
所述調(diào)節(jié)桿內(nèi)設(shè)置有與所述活動(dòng)槽連通的第三通孔;所述調(diào)節(jié)凸輪上設(shè)置有與所述第三通孔連通的第四通孔;還包括螺桿和與所述螺桿配合的螺母;所述螺桿伸入所述第三通孔和所述第四通孔內(nèi),且端部設(shè)置有與所述活動(dòng)槽配合的橫桿;所述調(diào)節(jié)套外側(cè)表面設(shè)置有環(huán)形側(cè)翼,所述側(cè)翼上設(shè)置有與所述連接桿對(duì)應(yīng)的調(diào)節(jié)孔,所述調(diào)節(jié)孔孔徑小于所述調(diào)節(jié)凸輪的最小寬度,大于所述連接桿外徑;所述調(diào)節(jié)件包括與所述調(diào)節(jié)凸輪配合的調(diào)節(jié)擋板,所述調(diào)節(jié)擋板位于所述調(diào)節(jié)凸輪和所述調(diào)節(jié)套之間;所述調(diào)節(jié)擋板朝向所述調(diào)節(jié)凸輪一側(cè)表面設(shè)置有與其配合的弧形調(diào)節(jié)槽。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀,其特征在于,所述高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀還包括樣品載料臺(tái),所述樣品載料臺(tái)上設(shè)置有放置樣品的放置板和調(diào)節(jié)所述放置板移動(dòng)的XYZ移動(dòng)平臺(tái)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀,其特征在于,所述高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀還包括主控板、為所述X光管提供電壓的高壓電源和控制所述XYZ移動(dòng)平臺(tái)的馬達(dá)驅(qū)動(dòng)組件;所述高壓電源和所述馬達(dá)驅(qū)動(dòng)組件均與所述主控板電連接并受其控制。
4.根
聲明:
“高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)