權(quán)利要求書(shū)： 1.一種罩式退火爐排氣裝置，包括罩式退火爐(1)，其特征在于：所述罩式退火爐(1)的頂端通過(guò)螺栓安裝設(shè)置有安裝板(2)，所述安裝板(2)的頂端開(kāi)設(shè)有貫穿口，所述貫穿口的內(nèi)部固定連接有導(dǎo)氣管(3)，所述導(dǎo)氣管(3)的底端延伸至罩式退火爐(1)的內(nèi)部，所述導(dǎo)氣管(3)的內(nèi)部固定連接有限制片(4)，所述限制片(4)的頂端開(kāi)設(shè)有氣口(5)，所述限制片(4)的頂端開(kāi)設(shè)有多個(gè)螺紋安裝孔(15)，且多個(gè)螺紋安裝孔(15)以氣口(5)的圓心為原點(diǎn)進(jìn)行圓周排列，多個(gè)所述螺紋安裝孔(15)的內(nèi)部均設(shè)置有限位桿(6)，多個(gè)所述限位桿(6)的頂端設(shè)置有安裝盤(pán)(7)，所述安裝盤(pán)(7)的底端中心處固定連接有伸縮桿(8)，所述伸縮桿(8)的底端固定連接有陶瓷分隔片(9)，所述導(dǎo)氣管(3)的外壁靠近頂部邊緣處套設(shè)有過(guò)濾箱(11)，所述過(guò)濾箱(11)的前后兩側(cè)外表面均開(kāi)設(shè)有過(guò)濾口，兩個(gè)所述過(guò)濾口的內(nèi)部均安裝設(shè)置有過(guò)濾網(wǎng)(12)。 2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種罩式退火爐排氣裝置，其特征在于：所述安裝盤(pán)(7)的內(nèi)部安裝設(shè)置有彈簧(10)，所述彈簧(10)的頂端固定連接于安裝盤(pán)(7)的底面。 3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種罩式退火爐排氣裝置，其特征在于：所述陶瓷分隔片(9)的半徑大于氣口(5)的半徑，且陶瓷分隔片(9)設(shè)置于氣口(5)的上方。 4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種罩式退火爐排氣裝置，其特征在于：所述安裝盤(pán)(7)頂端開(kāi)設(shè)有多個(gè)貫穿孔，多個(gè)所述貫穿孔均開(kāi)設(shè)于對(duì)應(yīng)的限位桿(6)上方。 5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種罩式退火爐排氣裝置，其特征在于：多個(gè)所述貫穿孔均貫穿限位桿(6)的底面，多個(gè)所述貫穿孔的內(nèi)部均插設(shè)有長(zhǎng)螺栓，多個(gè)所述長(zhǎng)螺栓均與對(duì)應(yīng)的螺紋安裝孔(15)螺紋連接。 6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種罩式退火爐排氣裝置，其特征在于：所述導(dǎo)氣管(3)的外壁套設(shè)有冷卻箱(13)，所述冷卻箱(13)的一側(cè)外表面貫穿設(shè)置有出氣管(14)。 說(shuō)明書(shū)： 一種罩式退火爐排氣裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本實(shí)用新型涉及計(jì)算機(jī)信號(hào)接收設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說(shuō)，涉及一種罩式退火爐排氣裝置。 背景技術(shù)[0002] 退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能，熱處理是針對(duì)不同的效果而設(shè)