權(quán)利要求書： 1.一種用于拋光機(jī)的行星輪的承載推車，其特征在于，包括：

儲(chǔ)液箱，所述儲(chǔ)液箱限定出適于存放清洗液的儲(chǔ)液腔，所述行星輪適于放置在所述儲(chǔ)液腔內(nèi)，所述儲(chǔ)液箱設(shè)有多個(gè)氣孔，每個(gè)所述氣孔與所述儲(chǔ)液腔連通；

水道件，所述水道件設(shè)于所述儲(chǔ)液箱的外側(cè)壁，所述水道件與所述儲(chǔ)液箱之間限定出水道，所述水道與所述氣孔連通，所述水道件設(shè)有與所述水道連通的進(jìn)氣口；

進(jìn)氣室，所述進(jìn)氣室的一端與所述進(jìn)氣口連通，所述進(jìn)氣室的另一端設(shè)有單向閥，所述氣孔設(shè)于所述儲(chǔ)液腔的底壁，所述水道件位于所述儲(chǔ)液箱的下方，所述進(jìn)氣口設(shè)于所述水道件的底壁，所述進(jìn)氣室在上下方向上延伸，所述進(jìn)氣室的下端通過軟管與所述進(jìn)氣口連通，所述進(jìn)氣室的上端設(shè)有所述單向閥，所述單向閥另一端設(shè)有適于與外置氣槍配合的對(duì)接部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于拋光機(jī)的行星輪的承載推車，其特征在于，所述儲(chǔ)液箱的底壁設(shè)有多個(gè)第一水槽，多個(gè)所述第一水槽縱橫交錯(cuò)設(shè)置，所述第一水槽與所述氣孔連通，所述水道件的頂壁設(shè)有多個(gè)第二水槽，多個(gè)所述第二水槽縱橫交錯(cuò)設(shè)置，多個(gè)所述第一水槽和多個(gè)所述第二水槽在上下方向一一對(duì)應(yīng)以限定出所述水道。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于拋光機(jī)的行星輪的承載推車，其特征在于，還包括：多個(gè)隔板，多個(gè)所述隔板將所述儲(chǔ)液腔分隔成多個(gè)儲(chǔ)液子腔，每個(gè)所述隔板設(shè)有掛鉤組件，所述行星輪具有通孔，所述掛鉤組件適于與所述通孔的外邊沿卡接配合。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于拋光機(jī)的行星輪的承載推車，其特征在于，所述儲(chǔ)液腔的側(cè)壁設(shè)有滑槽和滑軌中的一個(gè)，所述隔板設(shè)有所述滑槽和所述滑軌中的另一個(gè)，所述滑軌和所述滑槽上下滑移配合。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于拋光機(jī)的行星輪的承載推車，其特征在于，所述掛鉤組件包括：連接板，所述連接板與所述隔板可拆卸地相連，所述連接板設(shè)有避讓缺口；

掛鉤件，所述掛鉤件可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)于所述避讓缺口處，所述掛鉤件具有工作狀態(tài)和隱藏狀態(tài)，在所述工作狀態(tài)，所述掛鉤件轉(zhuǎn)動(dòng)至水平位置以伸出所述避讓缺口；在所述隱藏狀態(tài)，所述掛鉤件轉(zhuǎn)動(dòng)至豎直位置以位于所述避讓缺口內(nèi)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于拋光機(jī)的行星輪的承載推車，其特征在于，所述儲(chǔ)液箱包括：箱體，所述箱體的頂部具有敞開口；

箱蓋，所述箱蓋可拆卸地設(shè)于所述箱體以限定出所述儲(chǔ)液腔。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于拋光機(jī)的行星輪的承載推車，其特征在于，所述箱體鄰近所述敞開口處設(shè)有注水部，所述注水部具有過渡面，所述過渡面與所述箱體的底壁在上下方向上間隔開。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于拋光機(jī)的行星輪的承載推車，其特征在于，所述箱體的側(cè)壁設(shè)有存放欄，所述存放欄和所述箱體之間限定出存放口，所述箱蓋包括蓋板和把手部，所述把手部設(shè)于所述蓋板的中部，所述蓋板的部分穿過所述存放口且所述把手部與所述存放欄抵接。

9.根據(jù)權(quán)利要求1?8中任一項(xiàng)所述的用于拋光機(jī)的行星輪的承載推車，其特征在于，還包括：排水閥，所述儲(chǔ)液腔的底部設(shè)有排水口，所述排水閥設(shè)于所述排水口處以打開或關(guān)閉所述排水口。

說明書： 用于拋光機(jī)的行星輪的承載推車技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本發(fā)明涉及車間存儲(chǔ)設(shè)備領(lǐng)域，尤其是涉及一種用于拋光機(jī)的行星輪的承載推車。

背景技術(shù)[0002] 目前電子級(jí)單晶硅片是集成電路制造必要的生產(chǎn)要素，長期以來依賴進(jìn)口，尤其主流的12寸大硅片缺口很大。我國在大硅片的研究還在初步階段，為了做好大硅片的高效

保質(zhì)生產(chǎn)，穩(wěn)定的拋光設(shè)備和使用方便的工具是必不可少的。

[0003] 相關(guān)技術(shù)中，在拋光機(jī)停機(jī)不使用時(shí)，拋光機(jī)的行星輪固定掛載到拋光機(jī)旁，然而因?yàn)楣杵庸み^程中會(huì)使用到多種拋光液和拋光墊等原輔料，行星輪上容易殘留拋光液和

拋光墊細(xì)微碎屑等雜質(zhì)，影響制程工藝和產(chǎn)品質(zhì)量。

發(fā)明內(nèi)容[0004] 本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一。為此，本發(fā)明在于提出一種用于拋光機(jī)的行星輪的承載推車，在行星輪不使用時(shí)，可實(shí)現(xiàn)對(duì)行星輪的有效清潔和可

靠存放，有利于保證制程工藝和產(chǎn)品質(zhì)量。

[0005] 根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于拋光機(jī)的行星輪的承載推車，包括：儲(chǔ)液箱，所述儲(chǔ)液箱限定出適于存放清洗液的儲(chǔ)液腔，所述行星輪適于放置在所述儲(chǔ)液腔內(nèi)，所述儲(chǔ)液箱設(shè)有

多個(gè)氣孔，每個(gè)所述氣孔與所述儲(chǔ)液腔連通；水道件，所述水道件設(shè)于所述儲(chǔ)液箱的外側(cè)

壁，所述水道件與所述儲(chǔ)液箱之間限定出水道，所述水道與所述氣孔連通，所述水道件設(shè)有

與所述水道連通的進(jìn)氣口；進(jìn)氣室，所述進(jìn)氣室的一端與所述進(jìn)氣口連通，所述進(jìn)氣室的另

一端設(shè)有單向閥。

[0006] 根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于拋光機(jī)的行星輪的承載推車，在行星輪不使用時(shí)，可將行星輪浸泡在清洗液中，將外置氣槍與進(jìn)氣室相連通，以加壓鼓泡對(duì)行星輪進(jìn)行清洗，從而

實(shí)現(xiàn)對(duì)行星輪的有效清潔和可靠存放，有利于保證制程工藝和產(chǎn)品質(zhì)量，同時(shí)，通過在進(jìn)氣

室內(nèi)的另一端設(shè)置單向閥，有利于防止儲(chǔ)液腔內(nèi)的清洗液在液體重力和大氣壓的作用下通

過進(jìn)氣室流出，有利于減少安全隱患。

[0007] 在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，所述氣孔設(shè)于所述儲(chǔ)液腔的底壁，所述水道件位于所述儲(chǔ)液箱的下方，所述進(jìn)氣口設(shè)于所述水道件的底壁，所述進(jìn)氣室在上下方向上延伸，所述

進(jìn)氣室的下端通過軟管與所述進(jìn)氣口連通，所述進(jìn)氣室的上端設(shè)有所述單向閥。

[0008] 在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，所述儲(chǔ)液箱的底壁設(shè)有多個(gè)第一水槽，多個(gè)所述第一水槽縱橫交錯(cuò)設(shè)置，所述第一水槽與所述氣孔連通，所述水道件的頂壁設(shè)有多個(gè)第二水槽，

多個(gè)所述第二水槽縱橫交錯(cuò)設(shè)置，多個(gè)所述第一水槽和多個(gè)所述第二水槽在上下方向一一

對(duì)應(yīng)以限定出所述水道。

[0009] 在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，所述承載推車還包括：多個(gè)隔板，多個(gè)所述隔板將所述儲(chǔ)液腔分隔成多個(gè)儲(chǔ)液子腔，每個(gè)所述隔板設(shè)有掛鉤組件，所述掛鉤組件適于與所述行星

輪的所述通孔的外邊沿卡接配合。

[0010] 在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，所述儲(chǔ)液腔的側(cè)壁設(shè)有滑槽和滑軌中的一個(gè)，所述隔板設(shè)有所述滑槽和所述滑軌中的另一個(gè)，所述滑軌和所述滑槽上下滑移配合。

[0011] 在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，所述掛鉤組件包括：連接板，所述連接板與所述隔板可拆卸地相連，所述連接板設(shè)有避讓缺口；掛鉤件，所述掛鉤件可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)于所述避讓缺口

處，所述掛鉤件具有工作狀態(tài)和隱藏狀態(tài)，在所述工作狀態(tài)，所述掛鉤件轉(zhuǎn)動(dòng)至水平位置以

伸出所述避讓缺口；在所述隱藏狀態(tài)，所述掛鉤件轉(zhuǎn)動(dòng)至豎直位置以位于所述避讓缺口內(nèi)。

[0012] 在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，所述儲(chǔ)液箱包括：箱體，所述箱體的頂部具有敞開口；箱蓋，所述箱蓋可拆卸地設(shè)于所述箱體。

[0013] 在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，所述箱體鄰近所述敞開口處設(shè)有注水部，所述注水部具有過渡面，所述過渡面與所述箱體的底壁在上下方向上間隔開。

[0014] 在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，所述箱體的側(cè)壁設(shè)有存放欄，所述存放欄和所述箱體之間限定出存放口，所述箱蓋包括蓋板和把手部，所述把手部設(shè)于所述蓋板的中部，所述蓋

板的部分穿過所述存放口且所述把手部與所述存放欄抵接。

[0015] 在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，所述承載推車還包括：排水閥，所述儲(chǔ)液腔的底部設(shè)有排水口，所述排水閥設(shè)于所述排水口處以打開或關(guān)閉所述排水口。

[0016] 本發(fā)明的附加方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發(fā)明的實(shí)踐了解到。

附圖說明[0017] 圖1是根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的承載推車的立體圖；[0018] 圖2是圖1中所示的承載推車的主視圖；[0019] 圖3是圖2中A?A處的剖視示意圖；[0020] 圖4是圖3中B處的放大示意圖；[0021] 圖5是圖3中C處的放大示意圖；[0022] 圖6是圖2的俯視示意圖；[0023] 圖7是圖6中D處的放大示意圖；[0024] 圖8是根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的底板的平面示意圖；[0025] 圖9是根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的掛鉤組件的立體示意圖；[0026] 圖10是根據(jù)本方面一個(gè)實(shí)施例的行星輪的結(jié)構(gòu)示意圖。[0027] 附圖標(biāo)記：[0028] 承載推車100；[0029] 儲(chǔ)液箱10；儲(chǔ)液腔11；儲(chǔ)液子腔111；氣孔12；第一水槽13；滑槽14；[0030] 箱體15；敞開口151；注水部152；注水空間1521；過渡面1522；存放欄153；存放口154；前側(cè)板155；后側(cè)板156；左側(cè)板157；排水口1571；右側(cè)板158；底板159；

[0031] 箱蓋16；蓋板161；把手部162；[0032] 水道件20；水道21；第二水槽22；進(jìn)氣口23；[0033] 進(jìn)氣室30；軟管31；[0034] 單向閥40；[0035] 隔板50；滑軌51；減重孔52；[0036] 掛鉤組件60；連接板61；避讓缺口611；掛鉤件62；配合凹槽621；第一導(dǎo)向面622；第二導(dǎo)向面623；轉(zhuǎn)軸63；

[0037] 排水閥70；[0038] 滾輪80；手推部90；[0039] 行星輪200；通孔201。具體實(shí)施方式[0040] 下面詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標(biāo)號(hào)表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附

圖描述的實(shí)施例是示例性的，旨在用于解釋本發(fā)明，而不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。

[0041] 下文的公開提供了許多不同的實(shí)施例或例子用來實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的不同結(jié)構(gòu)。為了簡(jiǎn)化本發(fā)明的公開，下文中對(duì)特定例子的部件和設(shè)置進(jìn)行描述。當(dāng)然，它們僅僅為示例，并且

目的不在于限制本發(fā)明。此外，本發(fā)明可以在不同例子中重復(fù)參考數(shù)字和/或字母。這種重

復(fù)是為了簡(jiǎn)化和清楚的目的，其本身不指示所討論各種實(shí)施例和/或設(shè)置之間的關(guān)系。此

外，本發(fā)明提供了的各種特定的工藝和材料的例子，但是本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以意識(shí)到

其他工藝的可應(yīng)用于性和/或其他材料的使用。

[0042] 下面參考圖1?圖10描述根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于拋光機(jī)的行星輪200的承載推車100。

[0043] 參照?qǐng)D1?圖3所示，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于拋光機(jī)的行星輪200的承載推車100，承載推車100可以包括：儲(chǔ)液箱10、水道件20、進(jìn)氣室30和單向閥40。需要說明的是，拋光機(jī)

和承載推車100均設(shè)置在無塵車間中。

[0044] 其中，拋光機(jī)可以為雙面拋光機(jī)，雙面拋光機(jī)是對(duì)硅片表面加工制造超精細(xì)平坦化的設(shè)備，其可控制在納米級(jí)別，行星輪200是雙面拋光機(jī)的附屬零件，其基底材質(zhì)是特殊

的不足0.8mm的超薄不銹鋼材料，表面是利用物理氣相沉積的一層5um厚度的超薄類金剛石

涂層，內(nèi)襯是PU66材質(zhì)的樹脂材料，由于其與硅片直接接觸，耐磨損但是硬度較低，總而言

之，行星輪200具有昂貴，易損，易變形的特征。

[0045] 參照?qǐng)D1?3所示，儲(chǔ)液箱10限定出適于存放清洗液的儲(chǔ)液腔11，行星輪200適于放置在儲(chǔ)液腔11內(nèi)，儲(chǔ)液箱10設(shè)有多個(gè)氣孔12(參照?qǐng)D6)，每個(gè)氣孔12與儲(chǔ)液腔11連通，水道

件20設(shè)于儲(chǔ)液箱10的外側(cè)壁，水道件20與儲(chǔ)液箱10之間限定出水道21，水道21與氣孔12連

通，水道件20設(shè)有與水道21連通的進(jìn)氣口23(參照?qǐng)D4)，進(jìn)氣室30的一端與進(jìn)氣口23連通，

進(jìn)氣室30的另一端設(shè)有單向閥40。例如，單向閥40的另一端還設(shè)有適于氣槍配合的對(duì)接部，

在氣槍與進(jìn)氣室30對(duì)接后，單向閥40位于氣槍和進(jìn)氣口23之間?？蛇x地，清洗液為純水。

[0046] 具體而言，在行星輪200不使用時(shí)，可將使用后的行星輪200浸泡在儲(chǔ)液腔11的清洗液中，然后將氣槍與進(jìn)氣室30對(duì)接，氣槍向進(jìn)氣室30加壓以供氣，氣體通過水道件20流向

氣孔12，最后在儲(chǔ)液箱10內(nèi)產(chǎn)生氣泡，可以加快行星輪200周圍的清洗液的流速，有利于提

高對(duì)行星輪200的清潔效果，并且通過濕法清洗并保護(hù)行星輪200，可有效降低行星輪200的

破損風(fēng)險(xiǎn)，有利于降低生產(chǎn)成本，同時(shí)，通過在進(jìn)氣室30內(nèi)的另一端設(shè)置單向閥40，當(dāng)承載

推車100完成對(duì)行星輪200的清洗、將氣槍從進(jìn)氣室30上取下后，可防止儲(chǔ)液腔11內(nèi)的清洗

液在液體重力和大氣壓的作用下通過進(jìn)氣室30流出，有利于減少安全隱患。

[0047] 有鑒于此，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于拋光機(jī)的行星輪200的承載推車100，在行星輪200不使用時(shí)，可將行星輪200浸泡在清洗液中，將外置氣槍與進(jìn)氣室30相連通，以加壓鼓

泡對(duì)行星輪200進(jìn)行清洗，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)行星輪200的有效清潔和可靠存放，有利于保證制程

工藝和產(chǎn)品質(zhì)量，同時(shí)，通過在進(jìn)氣室30內(nèi)的另一端設(shè)置單向閥40，有利于防止儲(chǔ)液腔11內(nèi)

的清洗液在液體重力和大氣壓的作用下通過進(jìn)氣室30流出，有利于減少安全隱患。

[0048] 在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，參照?qǐng)D2?圖4所示，氣孔12設(shè)于儲(chǔ)液腔11的底壁，水道件20位于儲(chǔ)液箱10的下方，進(jìn)氣口23設(shè)于水道件20的底壁(參照?qǐng)D3和圖4)，進(jìn)氣室30在上

下方向上延伸，進(jìn)氣室30的下端通過軟管31與進(jìn)氣口23連通，進(jìn)氣室30的上端設(shè)有單向閥

40。可以理解的是，通過將水道件20設(shè)置在儲(chǔ)液箱10的下方，由氣槍通入的加壓氣體可以自

下而上地流向多個(gè)氣孔12，從而有利于使得整個(gè)儲(chǔ)液腔11內(nèi)的清洗液都發(fā)生鼓泡，有利于

提高對(duì)行星輪200整體的清洗效果。當(dāng)然，本發(fā)明不限于此，氣孔12還可以設(shè)于儲(chǔ)液箱10的

下述前側(cè)板155、后側(cè)板156、左側(cè)板157、右側(cè)板158，水道件20的設(shè)置隨氣孔12的位置而相

應(yīng)調(diào)整變化。

[0049] 在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，參照?qǐng)D3、圖4和圖8所示，儲(chǔ)液箱10的底壁設(shè)有多個(gè)第一水槽13，多個(gè)第一水槽13縱橫交錯(cuò)設(shè)置，第一水槽13與氣孔12連通(參照?qǐng)D8)，水道件20

的頂壁設(shè)有多個(gè)第二水槽22，多個(gè)第二水槽22縱橫交錯(cuò)設(shè)置，多個(gè)第一水槽13和多個(gè)第二

水槽22在上下方向一一對(duì)應(yīng)以限定出水道21(參照?qǐng)D4)?？梢岳斫獾氖?，通過多個(gè)第一水槽

13和多個(gè)第二水槽22在上下方向一一對(duì)應(yīng)以限定出水道21，可以使得水道21在水平面上呈

縱橫交錯(cuò)的形態(tài)，在外置氣槍加壓時(shí)，有利于保證與水道21對(duì)應(yīng)的多個(gè)氣孔12均勻出氣，從

而保證儲(chǔ)液腔11的底部均勻發(fā)泡。

[0050] 例如，參照?qǐng)D1、圖4和圖8所示，儲(chǔ)液箱10可以包括前側(cè)板155、后側(cè)板156、左側(cè)板157、右側(cè)板158和底板159，底板159的底壁設(shè)有五個(gè)橫向延伸的第一水槽13和三個(gè)縱向延

伸的第一水槽13，五個(gè)橫向延伸的第一水槽13和三個(gè)縱向延伸的第一水槽13縱橫交錯(cuò)設(shè)

置，每個(gè)第一水槽13設(shè)有多個(gè)均勻間隔開設(shè)置的氣孔12，水道件20的頂壁設(shè)有五個(gè)橫向延

伸的第二水槽22和三個(gè)縱向延伸的第二水槽22，五個(gè)橫向延伸的第二水槽22和三個(gè)縱向延

伸的第二水槽22縱橫交錯(cuò)設(shè)置，八個(gè)第一水槽13和八個(gè)第二水槽22在上下方向一一對(duì)應(yīng)以

限定出水道21(參照?qǐng)D4)，水道21的進(jìn)氣口23與位于中央的縱向延伸的第一水槽13對(duì)應(yīng)設(shè)

置。

[0051] 在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，參照?qǐng)D1所示，承載推車100還包括：多個(gè)隔板50，多個(gè)隔板50將儲(chǔ)液腔11分隔成多個(gè)儲(chǔ)液子腔111，每個(gè)隔板50設(shè)有掛鉤組件60，行星輪200具有

通孔201(參照?qǐng)D10)，掛鉤組件60適于與通孔201的外邊沿卡接配合?？梢岳斫獾氖牵ㄟ^在

每個(gè)隔板50設(shè)置掛鉤組件60，掛鉤組件60可與行星輪200的通孔201的外邊沿卡接配合，可

實(shí)現(xiàn)對(duì)行星輪200的可靠定位，有利于避免多個(gè)行星輪200之間發(fā)生碰撞損壞。

[0052] 在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，參照?qǐng)D6和圖7所示，儲(chǔ)液腔11的側(cè)壁設(shè)有滑槽14和滑軌51中的一個(gè)，隔板50設(shè)有滑槽14和滑軌51中的另一個(gè)，滑軌51和滑槽14上下滑移配合。例

如，結(jié)合圖6和圖7所示，儲(chǔ)液腔11的左右側(cè)壁分別設(shè)有在上下方向延伸的滑槽14，隔板50的

左右兩端設(shè)有滑軌51，兩個(gè)滑槽14與兩個(gè)滑軌51一一對(duì)應(yīng)地上下滑移配合。可以理解的是，

通過隔板50與儲(chǔ)液腔11的側(cè)壁滑移配合，隔板50可單獨(dú)提拉，方便識(shí)別不同的行星輪200的

編號(hào)，避免在查看行星輪200的編號(hào)時(shí)觸碰到行星輪200，同時(shí)方便對(duì)隔板50進(jìn)行單獨(dú)清洗，

有利于避免隔板50積累污垢。

[0053] 可選地，在一些示例中，參照?qǐng)D3所示，隔板50設(shè)有多個(gè)減重孔52，相鄰的儲(chǔ)液子腔111之間通過減重孔52連通。由此，可以減少隔板50的重量，便于工人提拉隔板50，同時(shí)有利

于減少用料，降低隔板50的使用成本。

[0054] 在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，參照?qǐng)D9所示，掛鉤組件60包括：連接板61和掛鉤件62，連接板61與隔板50可拆卸地相連，連接板61設(shè)有避讓缺口611，掛鉤件62可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)于避讓

缺口611處，掛鉤件62具有工作狀態(tài)和隱藏狀態(tài)，在工作狀態(tài)，掛鉤件62轉(zhuǎn)動(dòng)至水平位置以

伸出避讓缺口611；在隱藏狀態(tài)，掛鉤件62轉(zhuǎn)動(dòng)至豎直位置以位于避讓缺口611內(nèi)。可以理解

的是，通過使得掛鉤件62具有工作狀態(tài)和隱藏狀態(tài)，在需要將行星輪200取出時(shí)，可以將掛

鉤件62由工作位置切換到隱藏位置，方便行星輪200的存放和取用，有利于防止行星輪200

與儲(chǔ)液箱10和掛鉤組件60之間發(fā)生剮蹭。

[0055] 可選地，在一些示例中，參照?qǐng)D9所示，掛鉤件62大體形成為長方體狀，掛鉤件62的上表面設(shè)有配合凹槽621，參照?qǐng)D5所示，配合凹槽621具有第一導(dǎo)向面622和第二導(dǎo)向面

623，第一導(dǎo)向面622和第二導(dǎo)向面623之間呈鈍角設(shè)置，且當(dāng)掛鉤件62轉(zhuǎn)動(dòng)至工作狀態(tài)，第

一導(dǎo)向面622與水平面之間的夾角小于第二導(dǎo)向面623與水平面之間的夾角。由此，既方便

行星輪200的放入和取出，又可以實(shí)現(xiàn)對(duì)行星輪200的可靠定位，便于行星輪200利自身重力

垂放，操作方便。

[0056] 例如，參照?qǐng)D9所示，連接板61與隔板50通過螺紋緊固件可拆卸地相連，連接板61設(shè)有避讓缺口611，避讓缺口611的形狀與掛鉤件62的形狀相匹配，掛鉤件62與連接板61通

過轉(zhuǎn)軸63可轉(zhuǎn)動(dòng)地相連。

[0057] 在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，參照?qǐng)D1所示，儲(chǔ)液箱10包括：箱體15和箱蓋16，箱體15的頂部具有敞開口151，箱蓋16可拆卸地設(shè)于箱體15以限定出儲(chǔ)液腔11?？梢岳斫獾氖牵?br>
過將箱蓋16可拆卸設(shè)于箱體15，便于行星輪200的安放以及防止外界雜物進(jìn)入儲(chǔ)液腔11內(nèi)，

同時(shí)，可實(shí)現(xiàn)對(duì)行星輪200的可靠保護(hù)，可進(jìn)一步降低行星輪200的破損風(fēng)險(xiǎn)，有利于降低生

產(chǎn)成本。

[0058] 在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，參照?qǐng)D1和圖3所示，箱體15鄰近敞開口151處設(shè)有注水部152，注水部152具有過渡面1522，過渡面1522與箱體15的底壁在上下方向間隔開。例如，

箱體15的部分外側(cè)壁向外凹入以形成注水部152?？梢岳斫獾氖?，通過設(shè)置注水部152，在注

水時(shí)，純水順著先流向過渡面1522，有利于減少水流沖擊，防止水壓過高造成儲(chǔ)液腔11內(nèi)的

拼接內(nèi)襯(例如隔板50)錯(cuò)位甚至造成損傷，有利于提高儲(chǔ)液箱10工作的可靠性。

[0059] 例如，參照?qǐng)D1和圖3所示，注水部152的前側(cè)還設(shè)有掛鉤組件60，掛鉤組件60的連接板61的上表面高度高于過渡面1522的高度且小于注水部152的上表面的高度，掛鉤組件

60和注水部152之間限定出長方體狀的注水空間1521，在注水時(shí)，純水先流向過渡面1522，

接著經(jīng)過掛鉤組件60流向儲(chǔ)液腔11內(nèi)以起到緩沖水壓的效果。

[0060] 在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，參照?qǐng)D1和圖2所示，箱體15的側(cè)壁設(shè)有存放欄153，存放欄153和箱體15之間限定出存放口154，箱蓋16包括蓋板161和把手部162，把手部162設(shè)于

蓋板161的中部，蓋板161的部分穿過存放口154且把手部162與存放欄153抵接。例如，存放

欄153可以形成為條狀，存放欄153的左右兩端分別與箱體15的前側(cè)板155相連，存放欄153

的中部與前側(cè)板155間隔開，當(dāng)箱蓋16收納在存放欄153時(shí)，蓋板161的部分穿過存放口154

且把手部162與存放欄153抵接。由此，在箱蓋16打開箱體15時(shí)，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)箱蓋16的可靠放

置，且操作方便。

[0061] 在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，參照?qǐng)D2和圖6所示，承載推車100還包括：排水閥70，儲(chǔ)液腔11的底部設(shè)有排水口1571，排水閥70設(shè)于排水口1571處以打開或關(guān)閉排水口1571。可

以理解的是，通過在儲(chǔ)液腔11的底部設(shè)置排水閥7，可以方便排空和更換清洗液，有利于進(jìn)

一步保證對(duì)行星輪200的可靠清洗和存放。

[0062] 在一些可選的示例中，參照?qǐng)D1所示，儲(chǔ)液箱10的底部還設(shè)有滾輪80，例如，如圖1所示，滾輪80可以為四個(gè)，由此，工人在將行星輪200裝載結(jié)束后，通過滾輪80的轉(zhuǎn)動(dòng)，可將

承載推車100推動(dòng)到指定位置。

[0063] 可選地，每個(gè)滾輪80還對(duì)應(yīng)設(shè)有剎車件，工人可通過剎車件控制滾輪80鎖定或者解鎖，從而當(dāng)用戶將承載推車100推動(dòng)到指定位置時(shí)，可通過剎車件控制滾輪80鎖定，有利

于防止承載推車100自由移動(dòng)，從而可減少安全隱患。

[0064] 進(jìn)一步地，參照?qǐng)D1所示，儲(chǔ)液箱10上還設(shè)有手推部90，工人可通過手推部90將承載推車100推動(dòng)到指定位置，操作方便。

[0065] 根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的承載推車100的其他結(jié)構(gòu)以及操作對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員而言都是已知的，這里不再詳細(xì)描述。

[0066] 在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語“中心”、“縱向”、“橫向”、“長度”、“寬度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”、“順時(shí)針”、“逆時(shí)針”、“軸向”、“徑向”、“周向”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必

須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。

[0067] 此外，術(shù)語“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者

隱含地包括一個(gè)或者更多個(gè)該特征。在本發(fā)明的描述中，“多個(gè)”的含義是兩個(gè)或兩個(gè)以上，

除非另有明確具體的限定。

[0068] 在本發(fā)明中，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”、“固定”等術(shù)語應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或成一體；可以是機(jī)械連

接，也可以是電連接，還可以是通信；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以

是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通或兩個(gè)元件的相互作用關(guān)系。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可

以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語在本發(fā)明中的具體含義。

[0069] 在本發(fā)明中，除非另有明確的規(guī)定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接觸，或第一和第二特征通過中間媒介間接接觸。而且，第一特征在

第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或僅僅表示

第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第

一特征在第二特征正下方或斜下方，或僅僅表示第一特征水平高度小于第二特征。

[0070] 在本說明書的描述中，參考術(shù)語“一個(gè)實(shí)施例”、“一些實(shí)施例”、“示例”、“具體示例”、或“一些示例”等的描述意指結(jié)合該實(shí)施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特

點(diǎn)包含于本發(fā)明的至少一個(gè)實(shí)施例或示例中。在本說明書中，對(duì)上述術(shù)語的示意性表述不

必須針對(duì)的是相同的實(shí)施例或示例。而且，描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)可以在任

一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例或示例中以合適的方式結(jié)合。此外，在不相互矛盾的情況下，本領(lǐng)域的技

術(shù)人員可以將本說明書中描述的不同實(shí)施例或示例以及不同實(shí)施例或示例的特征進(jìn)行結(jié)

合和組合。

[0071] 盡管已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實(shí)施例，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以理解：在不脫離本發(fā)明的原理和宗旨的情況下可以對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型，本

發(fā)明的范圍由權(quán)利要求及其等同物限定。