權(quán)利要求書： 1.一種低溫廢氣處理回收系統(tǒng)，其特征在于，該系統(tǒng)包括發(fā)生段、提純段、凝結(jié)段、儲液箱；

所述發(fā)生段與提純段相互連接，所述發(fā)生段設(shè)置有廢液積蓄部的廢氣輸入口c、廢氣布?xì)夤?、冷凝廢液的加熱盤管、凝結(jié)廢液排出口d以及設(shè)置于廢液積蓄部的第一液位傳感器，所述凝結(jié)廢液排出口d連接于排液泵，所述加熱盤管連接于低溫?zé)岜孟到y(tǒng)的輔助散熱器、膨脹閥；

提純單元由多個所述提純段串聯(lián)而成，所述提純單元出口連接于所述凝結(jié)段，所述提純段設(shè)置有組合式冷凝器、溢流管、第二液位傳感器以及設(shè)置于提純段底部的鼓泡塔板，所述組合式冷凝器的冷源入口b、冷源出口a分別連接至所述低溫?zé)岜孟到y(tǒng)相對應(yīng)的低溫載冷劑出口b、低溫載冷劑進口a；

所述凝結(jié)段出口連接于所述儲液箱，所述儲液箱內(nèi)設(shè)置有過冷盤管、第三液位傳感器，所述儲液箱上分別設(shè)置有儲液箱進氣口h、儲液箱抽真空口f以及儲液箱抽真空口f′；

所述低溫?zé)岜孟到y(tǒng)用于提供廢液處理過程中的熱源和冷源，所述低溫?zé)岜孟到y(tǒng)中的蒸發(fā)器連接于壓縮機，所述壓縮機連接于輔助散熱器，所述輔助散熱器通過節(jié)流閥連接于蒸發(fā)器；

所述凝結(jié)段內(nèi)部冷凝器采用耐腐蝕金屬管翅式換熱器；

提純段進入的高濃度氣體通過布熱管均勻地與管翅式換熱器接觸；

所述凝結(jié)段設(shè)置有調(diào)節(jié)液體凝結(jié)量的冷凝器載冷劑進口流量控制閥；

所述凝結(jié)段頂部設(shè)置有不凝性氣體排出口g；

所述發(fā)生段、提純段、凝結(jié)段以及儲液箱均為閉式系統(tǒng)且采用負(fù)壓運行。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低溫廢氣處理回收系統(tǒng)，其特征在于，所述儲液箱與所述凝結(jié)段之間采用U型液體密封。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低溫廢氣處理回收系統(tǒng)，其特征在于，所述提純段采用模塊化結(jié)構(gòu)，提純段之間通過法蘭抱箍快速連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低溫廢氣處理回收系統(tǒng)，其特征在于，所述提純段內(nèi)持液高度與段間壓差通過調(diào)節(jié)鼓泡塔板開孔率與組合式冷凝器進口載冷劑流量調(diào)節(jié)控制閥控制。

5.一種低溫廢氣處理回收方法，采用根據(jù)權(quán)利要求1至4中任意一項所述的一種低溫廢氣處理回收系統(tǒng)，其特征在于，該方法利用負(fù)壓運行的封閉式系統(tǒng)進行處理，通過低溫冷凝對有毒有害高濃度氣體的液化處理并回收其中低沸點組分。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種低溫廢氣處理回收方法，其特征在于，所述封閉式系統(tǒng)包括依次連接的發(fā)生段、提純段、凝結(jié)段以及儲液箱。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種低溫廢氣處理回收方法，其特征在于，廢液積蓄部的廢氣輸入口c輸入的介質(zhì)經(jīng)過干燥過濾器處理后再通過廢氣布?xì)夤芄呐葸M入發(fā)生段，發(fā)生段內(nèi)經(jīng)過溢流管回流入發(fā)生段積液部廢液的溫度由熱泵冷凝熱控制恒溫，發(fā)生溫度與內(nèi)部壓力相對應(yīng)，發(fā)生溫度通過低溫?zé)岜孟到y(tǒng)的輔助散熱器調(diào)節(jié)，發(fā)生段排液由積液部液體濃度與液位判斷并通過排液泵排出。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種低溫廢氣處理回收方法，其特征在于，所述提純段、凝結(jié)段的冷量需求通過低溫?zé)岜孟到y(tǒng)提供，該低溫?zé)岜孟到y(tǒng)同時提供發(fā)生段內(nèi)恒溫控制所需熱量，低溫?zé)岜孟到y(tǒng)中多余能量的平衡通過輔助散熱器散熱；

載冷劑循環(huán)系統(tǒng)設(shè)置有載冷劑儲箱、與載冷劑儲箱連接的載冷劑循環(huán)泵，所述載冷劑循環(huán)泵連接于第十四調(diào)節(jié)閥。

說明書： 一種低溫廢氣處理回收系統(tǒng)及方法技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本發(fā)明涉及工業(yè)廢氣處理領(lǐng)域，尤其涉及一種低溫廢氣處理回收系統(tǒng)及方法。背景技術(shù)[0002] 隨著我國對于環(huán)保要求的逐年提高，對于工業(yè)領(lǐng)域的廢氣處理要求也日趨嚴(yán)格。傳統(tǒng)的廢氣處理技術(shù)已不能滿足各種有毒、有害的有機氣體處置需求，同時各地對于企業(yè)都提出了零排放的要求，傳統(tǒng)的燃燒法，吸附法等都會產(chǎn)生二次的排放或固廢，因此對工業(yè)廢氣進行物理處理回收，實現(xiàn)資源回用將是工業(yè)企業(yè)的必然選擇。針對目前企業(yè)工業(yè)廢氣中高濃度、有毒的廢氣處理回用的實際需求，開發(fā)了利用低溫?zé)岜米鳛槟芰框?qū)動的工業(yè)廢氣處理回收系統(tǒng)，設(shè)備布置靈活，利用載冷劑作為冷卻媒介實現(xiàn)工業(yè)廢氣的凝結(jié)液化，系統(tǒng)在負(fù)壓下運行、適合于有毒甚至是劇毒廢氣的處理，大大減少常規(guī)廢氣處理的能耗，回收物料的再利用節(jié)省了生產(chǎn)成本。

發(fā)明內(nèi)容[0003] 本發(fā)明旨在解決當(dāng)前半導(dǎo)體電子、化工領(lǐng)域里面一類不易通過燃燒法、洗滌法處理且具有回收利用價值的高濃度有毒有害廢氣，提供一種低溫廢氣處理回收系統(tǒng)及方法，其利用載冷劑作為冷凝介質(zhì)，在低溫度條件下(能夠?100℃以下)實現(xiàn)工業(yè)廢廢氣的冷凝提純，系統(tǒng)在負(fù)壓下運行，適合于劇毒、易揮發(fā)、易腐蝕廢氣的處理，實現(xiàn)易揮發(fā)廢氣的回收再利用，進行環(huán)保處理回收的同時能夠?qū)崿F(xiàn)資源回收再利用，節(jié)省原料消耗量。[0004] 為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案為：一種低溫廢氣處理回收系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括發(fā)生段、提純段、凝結(jié)段、儲液箱；[0005] 所述發(fā)生段與提純段相互連接，所述發(fā)生段設(shè)置有廢液積蓄部的廢氣輸入口c、廢氣布?xì)夤?、冷凝廢液的加熱盤管、凝結(jié)廢液排出口d以及設(shè)置于廢液積蓄部的第一液位傳感器，所述凝結(jié)廢液排出口d連接于排液泵，所述加熱盤管連接于低溫?zé)岜孟到y(tǒng)的輔助散熱器、膨脹閥；[0006] 提純單元由多個所述提純段串聯(lián)而成，所述提純單元出口連接于所述凝結(jié)段，所述提純段設(shè)置有組合式冷凝器、溢流管、第二液位傳感器以及設(shè)置于提純段底部的鼓泡塔板，所述組合式冷凝器的冷源入口b、冷源出口a分別連接至所述低溫?zé)岜孟到y(tǒng)相對應(yīng)的低溫載冷劑出口b、低溫載冷劑進口a；[0007] 所述凝結(jié)段出口連接于所述儲液箱，所述儲液箱內(nèi)設(shè)置有過冷盤管、第三液位傳感器，所述儲液箱上分別設(shè)置有儲液箱進氣口h、儲液箱抽真空口f、以及儲液箱抽真空口f′；[0008] 所述低溫?zé)岜孟到y(tǒng)用于提供廢氣處理過程中的熱源和冷源，所述低溫?zé)岜孟到y(tǒng)中的蒸發(fā)器連接于壓縮機，所述壓縮機連接于輔助散熱器，所述輔助散熱器通過節(jié)流閥連接于蒸發(fā)器；[0009] 所述凝結(jié)段內(nèi)部冷凝器采用耐腐蝕金屬管翅式換熱器；[0010] 提純段進入的高濃度氣體通過布熱管均勻地與管翅式換熱器接觸；[0011] 所述凝結(jié)段設(shè)置有調(diào)節(jié)液體凝結(jié)量的冷凝器載冷劑進口流量控制閥；[0012] 所述凝結(jié)段頂部設(shè)置有不凝性氣體排出口g；[0013] 所述發(fā)生段、提純段、凝結(jié)段以及儲液箱均為閉式系統(tǒng)且采用負(fù)壓運行。[0014] 進一步，所述儲液箱與所述凝結(jié)段之間采用U型液體密封，防止凝結(jié)段與儲液箱串氣。[0015] 進一步，所述提純段采用模塊化結(jié)構(gòu)，提純段之間通過法蘭抱箍快速連接。提純段采用標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計，能夠按照處理廢氣的特性通過法蘭抱箍快速拆裝進行增加或減少其數(shù)量。提純段內(nèi)布置組合式冷凝器，由金屬填料與金屬繞片盤管組合而成。

[0016] 進一步，所述提純段內(nèi)持液高度與段間壓差通過調(diào)節(jié)鼓泡塔板開孔率與組合式冷凝器進口載冷劑流量調(diào)節(jié)控制閥控制，通過調(diào)節(jié)溢流管高度避免提純段內(nèi)液泛與漏液。[0017] 一種低溫廢氣處理回收方法，采用上述的低溫廢氣處理回收系統(tǒng)，該方法利用負(fù)壓運行的封閉式系統(tǒng)進行處理，通過低溫冷凝對有毒有害高濃度氣體的液化處理并回收其中低沸點組分。[0018] 進一步，所述封閉式系統(tǒng)包括依次連接的發(fā)生段、提純段、凝結(jié)段以及儲液箱。本發(fā)明的低溫廢氣處理系統(tǒng)采用純物理的方式，通過低溫冷凝實現(xiàn)對有毒有害高濃度廢氣體的液化處理并回收其中低沸點組份。氣體處理系統(tǒng)負(fù)壓運行，發(fā)生段、提純段、凝結(jié)段以及儲液箱均為閉式系統(tǒng)，大大降低系統(tǒng)處理過程中有毒甚至是劇毒廢氣對環(huán)境泄漏污染的風(fēng)險。[0019] 進一步，廢液積蓄部的廢氣輸入口c輸入的介質(zhì)經(jīng)過干燥過濾器處理后再通過廢氣布?xì)夤芄呐葸M入發(fā)生段，發(fā)生段內(nèi)經(jīng)過溢流管回流入發(fā)生段積液部廢液的溫度由熱泵冷凝熱控制恒溫，發(fā)生溫度與內(nèi)部壓力相對應(yīng)，發(fā)生溫度通過低溫?zé)岜孟到y(tǒng)輔助散熱器調(diào)節(jié)，發(fā)生段排液由積液部液體濃度與液位判斷并通過排液泵排出。[0020] 進一步，所述提純段、凝結(jié)段的冷量需求通過低溫?zé)岜孟到y(tǒng)提供，該低溫?zé)岜孟到y(tǒng)同時提供發(fā)生段內(nèi)恒溫控制所需熱量，低溫?zé)岜弥卸嘤嗄芰康钠胶馔ㄟ^輔助散熱器散熱；載冷劑循環(huán)系統(tǒng)設(shè)置有載冷劑儲箱、與載冷劑儲箱連接的載冷劑循環(huán)泵，所述載冷劑循環(huán)泵連接于第十四調(diào)節(jié)閥,載冷劑循環(huán)系統(tǒng)通過載冷劑儲箱與旁通調(diào)節(jié)閥用于控制調(diào)節(jié)載冷劑流量波動與溫度變化造成的載冷劑體積波動。

[0021] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的優(yōu)點為：[0022] 1、該有毒廢氣處理系統(tǒng)采用純物理的方式，通過低溫冷凝實現(xiàn)對有毒氣體的液化回收，避免了燃燒處理高能耗及燃燒尾氣排放二次處理。氣體處理系統(tǒng)負(fù)壓運行，回收提純系統(tǒng)、儲液系統(tǒng)均為閉式循環(huán)，大大降低系統(tǒng)處理過程中有毒甚至是劇毒廢氣對環(huán)境泄漏污染的風(fēng)險。[0023] 2、系統(tǒng)采用低溫載冷劑對有毒廢氣實現(xiàn)冷凝，利用不同氣體的沸點差異可以實現(xiàn)對低沸點組份的回收，回收提純系統(tǒng)內(nèi)采用多級鼓泡冷凝提純，提純系統(tǒng)每層提純塔板依靠溢流高度與開孔率實現(xiàn)不同層級壓差控制。[0024] 3、提純段采用抱箍快速拆裝的形式組裝在一起，每節(jié)提純段為標(biāo)準(zhǔn)結(jié)構(gòu)能夠根據(jù)廢氣物性按需要進行增減，系統(tǒng)每級提純段內(nèi)通過調(diào)節(jié)載冷劑流量控制液位，實現(xiàn)對冷凝量的控制，溢流管高度及鼓泡塔板開孔率可以便捷調(diào)節(jié)用于避免提純段漏液或淹沒。[0025] 4、提純段內(nèi)組合式冷凝器采用耐腐金屬填料與換熱管束的組合形式構(gòu)成，具有低阻力高換熱效率的特點，同時金屬填料同時具有提高提純效率與對鼓泡進行消沫效果。[0026] 5、廢氣回收系統(tǒng)采用的冷源與熱源由低溫?zé)岜孟到y(tǒng)提供，提純段與凝結(jié)段氣體凝結(jié)所需的冷量由低溫?zé)岜脵C組對載冷劑進行降溫提供至冷凝器內(nèi)，同時低溫?zé)岜脵C組的冷凝熱提供底部發(fā)生段所需的熱量保證足夠的發(fā)生氣體上升提純回收，多余的熱量由輔助換熱機器散至環(huán)境中，系統(tǒng)冷熱能量得到綜合利用大大提高系統(tǒng)的運行能效。[0027] 6、冷凝盤管能夠流通不同的載冷劑，通過采用不同的載冷劑如酒精，液氮等能夠使系統(tǒng)冷凝溫度低至?100℃以下，用于回收處理一些低沸點氣體。[0028] 7、系統(tǒng)儲液系統(tǒng)采用低溫載冷劑盤管維持儲液液體足夠過冷度，避免二次汽化，真空維持系統(tǒng)在儲液箱設(shè)置抽氣口避免抽取處理廢氣，用于維持真空度及排除不凝性氣體，最終排出微量氣體采用高溫燃燒器與吸附的復(fù)合裝置用于處理排放氣體。[0029] 8、發(fā)生段內(nèi)設(shè)至加熱盤管，利用低溫?zé)岜美淠鳟a(chǎn)生的熱量進行維持凝結(jié)廢液恒定的汽化發(fā)生溫度，發(fā)生溫度依據(jù)發(fā)生器內(nèi)壓力自動控制，通過低溫?zé)岜幂o助散熱器調(diào)節(jié)低溫?zé)岜眉訜岜P管加熱量實現(xiàn)溫度控制。[0030] 9、發(fā)生段內(nèi)進氣通過微孔布?xì)獗P管實現(xiàn)，通過布?xì)饪粘鰜淼膹U氣進氣與發(fā)生段內(nèi)儲液密切接觸后上升進入提純段，同時發(fā)生段內(nèi)設(shè)置液位及濃度檢測傳感器，依據(jù)凝結(jié)廢測得液位及濃度自動判定排液電磁閥及排液泵是否啟動。附圖說明[0031] 圖1為本發(fā)明實施例中一種低溫廢氣處理回收系統(tǒng)示意圖。[0032] 附圖標(biāo)記說明：壓縮機1、輔助散熱器2、節(jié)流閥3、蒸發(fā)器4、載冷劑儲箱5、載冷劑循環(huán)泵6、低溫載冷劑進口a、低溫載冷劑出口b、發(fā)生段7、提純段8、凝結(jié)段9、儲液箱10、除沫器11、精餾裝置12、排液泵13、干燥過濾器15；

[0033] 第一排液閥14?1、第二控制閥14?2、第三調(diào)節(jié)控制閥14?3、第四調(diào)節(jié)控制閥14?4、第五調(diào)節(jié)控制閥14?5、第六控制閥門14?6、第七控制閥14?7、冷凝器載冷劑進口流量控制閥14?8、第九調(diào)節(jié)閥門14?9、第十控制閥14?10、第十一閥門14?11、第十二控制閥14?12、第十三控制閥14?13、第十四調(diào)節(jié)閥14?14、第十五控制閥14?15；

[0034] 加熱盤管7?1、第一液位傳感器7?2、廢氣布?xì)夤??3、廢氣輸入口c、凝結(jié)廢液排出口d；[0035] 組合式冷凝器8?1、冷源出口a、冷源入口b、溢流管8?2、第二液位傳感器8?3、鼓泡塔板8?4；[0036] 管翅式換熱器9?1、冷凝器載冷劑出口a、冷凝器載冷劑進口b、布熱管9?2；[0037] 過冷盤管10?1、第三液位傳感器10?2、儲液箱進氣口h、儲液箱抽真空口f、儲液箱抽真空口f′、儲液箱外接口e。具體實施方式[0038] 下面將結(jié)合示意圖對本發(fā)明所采用的技術(shù)方案作進一步的說明。[0039] 如圖1，一種低溫廢氣處理回收系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括發(fā)生段7、提純段8、凝結(jié)段9、儲液箱10、低溫?zé)岜孟到y(tǒng)。[0040] 結(jié)合圖1，所述發(fā)生段7與提純段8相互連接，所述發(fā)生段7設(shè)置有廢液積蓄部的廢氣輸入口c、廢氣布?xì)夤??3、冷凝廢液的加熱盤管7?1、凝結(jié)廢液排出口d以及設(shè)置于廢液積蓄部的第一液位傳感器7?2，所述凝結(jié)廢液排出口d連接于排液泵13，所述加熱盤管7?1連接于低溫?zé)岜孟到y(tǒng)的輔助散熱器2、膨脹閥3，發(fā)生段7用于處理廢氣的進氣與均勻布?xì)夤呐?，實現(xiàn)利用回流液提純冷卻進入的廢氣，所述發(fā)生段7內(nèi)的溫度依據(jù)處理成分的溫度精確控制，采用冷凝廢液的加熱盤管7?1實現(xiàn)。[0041] 提純單元由多個所述提純段8串聯(lián)而成，提純段8僅僅示出了三層進行示意性說明，現(xiàn)場可以根據(jù)需要調(diào)整提純段8的數(shù)量。所述提純單元出口連接于所述凝結(jié)段9，所述提純段8設(shè)置有組合式冷凝器8?1、溢流管8?2、第二液位傳感器8?3以及設(shè)置于提純段8底部的鼓泡塔板8?4，所述組合式冷凝器8?1的冷源入口b、冷源出口a分別連接至低溫?zé)岜孟到y(tǒng)相對應(yīng)的低溫載冷劑出口b、低溫載冷劑進口a。[0042] 所述凝結(jié)段9出口連接于所述儲液箱10，所述儲液箱內(nèi)設(shè)置有過冷盤管10?1、第三液位傳感器10?2，儲液箱10與所述凝結(jié)段9之間采用U型液體密封，所述儲液箱10上分別設(shè)置有儲液箱進氣口h、儲液箱抽真空口f以及儲液箱抽真空口f′，儲液箱抽真空口f外接管路安裝有第十控制閥14?10，儲液箱抽真空口f′外接管路安裝有第十五控制閥14?15(由于儲液箱10被柔性膜隔開了，膜的兩側(cè)都要抽真空，故而這里出現(xiàn)了儲液箱抽真空口f、儲液箱抽真空口f′)，儲液箱10底部安裝有帶第十三控制閥14?13的儲液箱外接口e。所述儲液箱10內(nèi)部設(shè)置低溫過冷盤管10?1用于防止凝結(jié)液二次汽化，過冷溫度依據(jù)儲液箱10內(nèi)壓力自動調(diào)節(jié)過冷盤管10?1內(nèi)液體載冷劑流量控制閥(將其界定為第十二控制閥14?12)實現(xiàn)。[0043] 所述低溫?zé)岜孟到y(tǒng)用于提供廢液處理過程中的熱源和冷源，所述低溫?zé)岜孟到y(tǒng)中的蒸發(fā)器4連接于壓縮機1，所述壓縮機1連接于輔助散熱器2，所述輔助散熱器2通過節(jié)流閥3連接于蒸發(fā)器4。

[0044] 本實施例中，發(fā)生段7內(nèi)的積液部分液體來源于進口廢氣的冷卻凝結(jié)與上層提純段8的回流，單檢測液位與濃度達(dá)到設(shè)定值打開第一排液閥14?1由排液泵13作為廢液排出。發(fā)生段7產(chǎn)生的蒸汽經(jīng)鼓泡塔板8?4鼓泡進入提純段8，鼓泡塔板8?4上下的差壓使鼓泡塔板

8?4上維持一定的液位，液位高度由提純段8內(nèi)安裝的溢流管8?2高度決定。提純段8內(nèi)每層塔板上的持液濃度與鼓泡蒸汽濃度越來越高，最終高純的蒸汽進入凝結(jié)段9作為回收物料進行凝結(jié)回收。提純段8與凝結(jié)段9中設(shè)置第六控制閥門14?6，初始運行時當(dāng)提純段8每層塔板積液高度、產(chǎn)生蒸汽濃度達(dá)到要求后打開開始回收物料。系統(tǒng)可能輸入或泄漏進的不凝性氣體由凝結(jié)段9內(nèi)不凝性氣體排出口g排出，避免劇毒氣體泄漏，排出氣體經(jīng)燃燒及吸附再處理。凝結(jié)段9中凝結(jié)的液體通過重力排液至儲液箱10中，當(dāng)儲液箱10中第三液位傳感機器10?2達(dá)到設(shè)定液位時關(guān)閉第十一閥門14?11，第九調(diào)節(jié)閥門14?9，升高儲液箱10壓力，依靠重力將回收的低溫液體物料排出回收。

[0045] 本實施例中，所述提純段8內(nèi)持液高度與段間壓差通過調(diào)節(jié)鼓泡塔板8?4開孔率與組合式冷凝器8?1進口載冷劑流量調(diào)節(jié)控制閥控制，將提純段8自下而上各自安裝的調(diào)節(jié)控制閥分別界定為第三調(diào)節(jié)控制閥14?3、第四調(diào)節(jié)控制閥14?4、第五調(diào)節(jié)控制閥14?5。[0046] 所述凝結(jié)段9內(nèi)部冷凝器采用耐腐蝕金屬管翅式換熱器9?1，提純段8進入的高濃度氣體通過布熱管9?2均勻地與管翅式換熱器9?1接觸，所述凝結(jié)段9設(shè)置有調(diào)節(jié)液體凝結(jié)量的冷凝器載冷劑進口流量控制閥14?8，所述凝結(jié)段9頂部設(shè)置有不凝性氣體排出口g，該不凝性氣體排出口g外接管路安裝有第七控制閥14?7。[0047] 吸收器出口所設(shè)除沫器11獲得的凝結(jié)液作為吸收器所設(shè)精餾裝置12回流液體。該系統(tǒng)利用工業(yè)低溫?zé)岜锰峁┕I(yè)廢氣處理所需的冷源與熱源，在低溫工況下利用載冷劑作為載體通過組合式冷凝器8?1對廢氣中的成分冷凝提純。[0048] 本發(fā)明中各控制閥的安裝位置在文中未表述時可參考圖1所示位置。[0049] 本發(fā)明提供的一種低溫廢氣處理回收方法，該方法利用負(fù)壓運行的封閉式系統(tǒng)進行處理，通過低溫冷凝對有毒有害高濃度氣體的液化處理并回收其中低沸點組分，而封閉式系統(tǒng)包括依次連接的發(fā)生段7、提純段8、凝結(jié)段9以及儲液箱10。廢液積蓄部的廢氣輸入口c輸入的介質(zhì)經(jīng)過干燥過濾器15(干燥處理器前端連接有第二控制閥14?2)處理后再通過廢氣布?xì)夤??3鼓泡進入發(fā)生段7，發(fā)生段7內(nèi)經(jīng)過溢流管8?2回流入發(fā)生段7積液部廢液的溫度由熱泵冷凝熱控制恒溫，發(fā)生溫度與內(nèi)部壓力相對應(yīng)，發(fā)生溫度通過低溫?zé)岜孟到y(tǒng)輔助散熱器2調(diào)節(jié)，發(fā)生段7排液由積液部液體濃度與液位判斷并通過排液泵13排出。所述提純段8、凝結(jié)段9的冷量需求通過低溫?zé)岜孟到y(tǒng)提供，該低溫?zé)岜孟到y(tǒng)同時提供發(fā)生段7內(nèi)恒溫控制所需熱量，低溫?zé)岜孟到y(tǒng)中多余能量的平衡通過輔助散熱器散熱，載冷劑循環(huán)系統(tǒng)設(shè)置有載冷劑儲箱5、與載冷劑儲箱5連接的載冷劑循環(huán)泵6，所述載冷劑循環(huán)泵6連接于第十四調(diào)節(jié)閥14?14。[0050] 低溫?zé)岜孟到y(tǒng)用于提供廢液處理過程中熱源與冷源，所述蒸發(fā)器4的制冷劑出口連接于壓縮機1的制冷劑進口(用于冷卻載冷劑)，所述壓縮機1的制冷劑出口連接于輔助散熱器2的制冷劑進口，所述加熱盤管7?1連接于輔助散熱器2的制冷劑出口(用于發(fā)生段7積液恒溫控制)，所述加熱盤管7?1出口通過節(jié)流閥3連接于蒸發(fā)器4。系統(tǒng)能量平衡之后產(chǎn)生多余的壓縮機1功率熱負(fù)荷通過輔助散熱器2散發(fā)。載冷劑循環(huán)系統(tǒng)中載冷劑循環(huán)泵6將載冷劑輸送至系統(tǒng)內(nèi)各個對應(yīng)接口b，各系統(tǒng)中設(shè)置調(diào)節(jié)閥(包括第三調(diào)節(jié)控制閥14?3、第四調(diào)節(jié)控制閥14?4、第五調(diào)節(jié)控制閥14?5、冷凝器載冷劑進口流量控制閥14?8、第十二控制閥14?12)用于控制流量，載冷劑經(jīng)低溫載冷劑進口a回至蒸發(fā)器4降溫，第十四調(diào)節(jié)閥14?14與儲液箱5用于調(diào)節(jié)系統(tǒng)載冷劑流量與體積變化。

[0051] 上述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實施例而已，并不對本發(fā)明起到任何限制作用。任何所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的技術(shù)方案的范圍內(nèi)，對本發(fā)明揭露的技術(shù)方案和技術(shù)內(nèi)容做任何形式的等同替換或修改等變動，均屬未脫離本發(fā)明的技術(shù)方案的內(nèi)容，仍屬于本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。