權(quán)利要求書： 1.一種雙軌高產(chǎn)能晶硅電池片抗光衰退火爐設(shè)備，包括機體（1），所述機體（1）的內(nèi)底部固定有多個升降桿（2），所述升降桿（2）的升降輸出端固定有退火處理托盤（3），所述退火處理托盤（3）上固定有兩組電動輸送滑軌（4），所述機體（1）內(nèi)部固定有多個均勻分布的加熱單元（5），其特征在于：所述機體（1）的外壁上固定有鼓風(fēng)機（6），所述鼓風(fēng)機（6）的出風(fēng)口連接有輸氣管（7），所述退火處理托盤（3）的內(nèi)部開設(shè)有空腔（8），所述輸氣管（7）與空腔（8）內(nèi)部相連通，所述退火處理托盤（3）的上表面開設(shè)有多個均勻分布的出風(fēng)孔（9），所述出風(fēng)孔（9）為喇叭形結(jié)構(gòu)，所述退火處理托盤（3）的上側(cè)設(shè)有冷卻水管（10），且冷卻水管（10）與出風(fēng)孔（9）對應(yīng)設(shè)置，所述冷卻水管（10）通過U形緊固件固定在機體（1）內(nèi)壁上，所述冷卻水管（10）的兩端分別連接有進水管（11）和出水管（12），所述進水管（11）和出水管（12）均貫穿機體（1）設(shè)置，所述進水管（11）和出水管（12）均與冷卻水箱相連接，所述機體（1）的上側(cè)開設(shè)有出風(fēng)口（13），所述機體（1）頂端固定有廢氣凈化箱（14），所述廢氣凈化箱（14）底端與出風(fēng)口（13）相連通，所述廢氣凈化箱（14）內(nèi)部填充有多個廢氣凈化球（15），所述廢氣凈化箱（14）的頂端連接有排氣管（16）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種雙軌高產(chǎn)能晶硅電池片抗光衰退火爐設(shè)備，其特征在于：所述廢氣凈化球（15）包括球形濾網(wǎng)（151），所述球形濾網(wǎng)（151）的外壁上固定有多根親水吸附纖維（152），所述球形濾網(wǎng)（151）的內(nèi)部填充有多個活性炭吸附球（153），且球形濾網(wǎng)（151）的內(nèi)部還填充有活性炭吸附顆粒（154）。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種雙軌高產(chǎn)能晶硅電池片抗光衰退火爐設(shè)備，其特征在于：所述升降桿（2）為升降液壓缸、升降氣缸和電動推桿中的一種。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種雙軌高產(chǎn)能晶硅電池片抗光衰退火爐設(shè)備，其特征在于：所述冷卻水管（10）、進水管（11）和出水管（12）均采用耐高溫導(dǎo)熱材料制成。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種雙軌高產(chǎn)能晶硅電池片抗光衰退火爐設(shè)備，其特征在于：所述廢氣凈化箱（14）與機體（1）的連接處設(shè)有密封墊。

說明書： 一種雙軌高產(chǎn)能晶硅電池片抗光衰退火爐設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本實用新型涉及電池片生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種雙軌高產(chǎn)能晶硅電池片抗光衰退火爐設(shè)備。

背景技術(shù)[0002] 在各類硅片生產(chǎn)制備過程中，退火工藝是一個重要的工藝流程。硅片退火處理，是工藝的一個環(huán)節(jié)，是按一定的程序?qū)杵M行升溫、降溫的過程。硅片中含有氧，氧有吸取

雜質(zhì)的作用，退火時可以將硅片表面附近的氧，從其表面揮發(fā)脫除，使表面附近的雜質(zhì)數(shù)量

減少，通過退火工藝可以降低晶硅芯片體內(nèi)缺陷，獲得更好的半導(dǎo)體芯片質(zhì)量。

[0003] 硅片退火工藝需要用到退火爐，現(xiàn)在使用的絕大部分半導(dǎo)體芯片退火爐，在冷卻時不能很好的實現(xiàn)均勻冷卻，導(dǎo)致冷卻時爐體內(nèi)部溫度不一樣影響電池片的質(zhì)量，且還存

在著嚴重的氣體外泄而造成的環(huán)境污染問題。

實用新型內(nèi)容

[0004] 1．要解決的技術(shù)問題[0005] 針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，本實用新型的目的在于提供一種雙軌高產(chǎn)能晶硅電池片抗光衰退火爐設(shè)備，可以實現(xiàn)利用風(fēng)冷和水冷兩種冷卻方式進行冷卻，且通過特殊的

喇叭形出風(fēng)孔的設(shè)置，實現(xiàn)冷空氣的均勻分布，提升冷卻效率，并且出風(fēng)孔和冷卻水管的合

理布置，能夠使風(fēng)冷和水冷有效配合，進一步提升凈化效率，另外利用廢氣凈化球顯著的增

大了廢氣與廢氣凈化球的接觸面積，提升廢氣的凈化效率。

[0006] 2．技術(shù)方案[0007] 為解決上述問題，本實用新型采用如下的技術(shù)方案。[0008] 一種雙軌高產(chǎn)能晶硅電池片抗光衰退火爐設(shè)備，包括機體，所述機體的內(nèi)底部固定有多個升降桿，所述升降桿的升降輸出端固定有退火處理托盤，所述退火處理托盤上固

定有兩組電動輸送滑軌，所述機體內(nèi)部固定有多個均勻分布的加熱單元，所述機體的外壁

上固定有鼓風(fēng)機，所述鼓風(fēng)機的出風(fēng)口連接有輸氣管，所述退火處理托盤的內(nèi)部開設(shè)有空

腔，所述輸氣管與空腔內(nèi)部相連通，所述退火處理托盤的上表面開設(shè)有多個均勻分布的出

風(fēng)孔，所述出風(fēng)孔為喇叭形結(jié)構(gòu)，所述退火處理托盤的上側(cè)設(shè)有冷卻水管，且冷卻水管與出

風(fēng)孔對應(yīng)設(shè)置，所述冷卻水管通過U形緊固件固定在機體內(nèi)壁上，所述冷卻水管的兩端分別

連接有進水管和出水管，所述進水管和出水管均貫穿機體設(shè)置，所述進水管和出水管均與

冷卻水箱相連接，所述機體的上側(cè)開設(shè)有出風(fēng)口，所述機體頂端固定有廢氣凈化箱，所述廢

氣凈化箱底端與出風(fēng)口相連通，所述廢氣凈化箱內(nèi)部填充有多個廢氣凈化球，所述廢氣凈

化箱的頂端連接有排氣管。本方案可以實現(xiàn)利用風(fēng)冷和水冷兩種冷卻方式進行冷卻，且通

過特殊的喇叭形出風(fēng)孔的設(shè)置，實現(xiàn)冷空氣的均勻分布，提升冷卻效率，并且出風(fēng)孔和冷卻

水管的合理布置，能夠使風(fēng)冷和水冷有效配合，進一步提升凈化效率，另外利用廢氣凈化球

顯著的增大了廢氣與廢氣凈化球的接觸面積，提升廢氣的凈化效率。

[0009] 進一步的，所述廢氣凈化球包括球形濾網(wǎng)，所述球形濾網(wǎng)的外壁上固定有多根親水吸附纖維，所述球形濾網(wǎng)的內(nèi)部填充有多個活性炭吸附球，且球形濾網(wǎng)的內(nèi)部還填充有

活性炭吸附顆粒。利用設(shè)置的親水吸附纖維可吸附濕氣，吸附濕氣后的親水吸附纖維具有

較強的粉塵吸附能力，利用親水吸附纖維吸附顆粒較大的雜質(zhì)，并利用設(shè)置的活性炭吸附

球和活性炭吸附顆粒對廢氣中的小顆粒雜質(zhì)和有毒有害氣體進行吸附，球形結(jié)構(gòu)顯著的提

升了吸附面積，提升了對退火處理廢氣的凈化效果。

[0010] 進一步的，所述升降桿為升降液壓缸、升降氣缸和電動推桿中的一種，能夠方便的對退火處理托盤進行升降調(diào)節(jié)，滿足不同情況下的使用需求。

[0011] 進一步的，所述冷卻水管、進水管和出水管均采用耐高溫導(dǎo)熱材料制成，提升水冷效果，延長使用壽命。

[0012] 進一步的，所述廢氣凈化箱與機體的連接處設(shè)有密封墊，保證廢氣凈化箱與機體連接處的密封性，避免廢氣泄露。

[0013] 3．有益效果[0014] 相比于現(xiàn)有技術(shù)，本實用新型的優(yōu)點在于：[0015] （1）本方案可以實現(xiàn)利用風(fēng)冷和水冷兩種冷卻方式進行冷卻，且通過特殊的喇叭形出風(fēng)孔的設(shè)置，實現(xiàn)冷空氣的均勻分布，提升冷卻效率，并且出風(fēng)孔和冷卻水管的合理布

置，能夠使風(fēng)冷和水冷有效配合，進一步提升凈化效率，另外利用廢氣凈化球顯著的增大了

廢氣與廢氣凈化球的接觸面積，提升廢氣的凈化效率。

[0016] （2）利用設(shè)置的親水吸附纖維可吸附濕氣，吸附濕氣后的親水吸附纖維具有較強的粉塵吸附能力，利用親水吸附纖維吸附顆粒較大的雜質(zhì)，并利用設(shè)置的活性炭吸附球和

活性炭吸附顆粒對廢氣中的小顆粒雜質(zhì)和有毒有害氣體進行吸附，球形結(jié)構(gòu)顯著的提升了

吸附面積，提升了對退火處理廢氣的凈化效果。

[0017] （3）升降桿為升降液壓缸、升降氣缸和電動推桿中的一種，能夠方便的對退火處理托盤進行升降調(diào)節(jié)，滿足不同情況下的使用需求。

[0018] （4）冷卻水管、進水管和出水管均采用耐高溫導(dǎo)熱材料制成，提升水冷效果，延長使用壽命。

[0019] （5）廢氣凈化箱與機體的連接處設(shè)有密封墊，保證廢氣凈化箱與機體連接處的密封性，避免廢氣泄露。

附圖說明[0020] 圖1為本實用新型的正視圖；[0021] 圖2為圖1中A處的放大結(jié)構(gòu)示意圖；[0022] 圖3為本實用新型中廢氣凈化球的結(jié)構(gòu)示意圖；[0023] 圖4為本實用新型中退火處理托盤的俯視圖。[0024] 圖中標號說明：[0025] 1機體、2升降桿、3退火處理托盤、4電動輸送滑軌、5加熱單元、6鼓風(fēng)機、7輸氣管、8空腔、9出風(fēng)孔、10冷卻水管、11進水管、12出水管、13出風(fēng)口、14廢氣凈化箱、15廢氣凈化球、

151球形濾網(wǎng)、152親水吸附纖維、153活性炭吸附球、154活性炭吸附顆粒、16排氣管。

具體實施方式[0026] 下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖；對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述；顯然；所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例；而不是全部的

實施例，基于本實用新型中的實施例；本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下

所獲得的所有其他實施例；都屬于本實用新型保護的范圍。

[0027] 在本實用新型的描述中，需要說明的是，術(shù)語“上”、“下”、“內(nèi)”、“外”、“頂/底端”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實用新型

和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)

造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。此外，術(shù)語“第一”、“第二”僅用于描述目

的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。

[0028] 在本實用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“設(shè)置有”、“套設(shè)/接”、“連接”等，應(yīng)做廣義理解，例如“連接”，可以是固定連接，也可以

是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以

通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內(nèi)部的連通。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可

以具體情況理解上述術(shù)語在本實用新型中的具體含義。

[0029] 實施例1：[0030] 請參閱圖1?2和圖4，一種雙軌高產(chǎn)能晶硅電池片抗光衰退火爐設(shè)備，包括機體1，機體1的內(nèi)底部固定有多個升降桿2，升降桿2的升降輸出端固定有退火處理托盤3，退火處

理托盤3上固定有兩組電動輸送滑軌4，電動輸送滑軌4為現(xiàn)有技術(shù)，在此不再贅述，機體1內(nèi)

部固定有多個均勻分布的加熱單元5，機體1的外壁上固定有鼓風(fēng)機6，鼓風(fēng)機6的出風(fēng)口連

接有輸氣管7，退火處理托盤3的內(nèi)部開設(shè)有空腔8，輸氣管7與空腔8內(nèi)部相連通，退火處理

托盤3的上表面開設(shè)有多個均勻分布的出風(fēng)孔9，出風(fēng)孔9為喇叭形結(jié)構(gòu)，退火處理托盤3的

上側(cè)設(shè)有冷卻水管10，且冷卻水管10與出風(fēng)孔9對應(yīng)設(shè)置，冷卻水管10通過U形緊固件固定

在機體1內(nèi)壁上，冷卻水管10的兩端分別連接有進水管11和出水管12，進水管11和出水管12

均貫穿機體1設(shè)置，進水管11和出水管12均與冷卻水箱相連接，機體1的上側(cè)開設(shè)有出風(fēng)口

13，機體1頂端固定有廢氣凈化箱14，廢氣凈化箱14底端與出風(fēng)口13相連通，廢氣凈化箱14

內(nèi)部填充有多個廢氣凈化球15，廢氣凈化箱14的頂端連接有排氣管16。使用設(shè)備時，電動輸

送滑軌4用于對硅片進行輸送，在輸送過程中，加熱單元5工作對硅片進行熱處理，當(dāng)需要進

行冷卻時，啟動鼓風(fēng)機6工作，冷風(fēng)進入空腔8內(nèi)部并由出風(fēng)孔9吹出，出風(fēng)孔9為外粗內(nèi)細的

喇叭形結(jié)構(gòu)，冷風(fēng)經(jīng)過出風(fēng)孔9時會呈扇形擴散，使出風(fēng)孔9在機體1內(nèi)部充分擴散，提升冷

卻的均勻性，從而有效提升冷卻效率，同時冷卻水管10內(nèi)部流動的循環(huán)冷卻水進行冷卻，提

升冷卻效率，并且由出風(fēng)孔9吹出的風(fēng)還可對冷卻水管10進行冷卻降溫，進一步提升冷卻效

率，退火處理過程中產(chǎn)生的廢氣由出風(fēng)口13排出進入廢氣凈化箱14內(nèi)部，利用設(shè)置的廢氣

凈化球15對廢氣進行有效凈化，由于廢氣凈化球15為球形結(jié)構(gòu)，且多個廢氣凈化球15堆積

設(shè)置，顯著的增大了廢氣與廢氣凈化球15的接觸面積，提升凈化效率。

[0031] 本方案可以實現(xiàn)利用風(fēng)冷和水冷兩種冷卻方式進行冷卻，且通過特殊的喇叭形出風(fēng)孔9的設(shè)置，實現(xiàn)冷空氣的均勻分布，提升冷卻效率，并且出風(fēng)孔9和冷卻水管10的合理布

置，能夠使風(fēng)冷和水冷有效配合，進一步提升凈化效率，另外利用廢氣凈化球15顯著的增大

了廢氣與廢氣凈化球15的接觸面積，提升廢氣的凈化效率。

[0032] 請參閱圖1和圖3，廢氣凈化球15包括球形濾網(wǎng)151，球形濾網(wǎng)151的外壁上固定有多根親水吸附纖維152，球形濾網(wǎng)151的內(nèi)部填充有多個活性炭吸附球153，且球形濾網(wǎng)151

的內(nèi)部還填充有活性炭吸附顆粒154。利用設(shè)置的親水吸附纖維152可吸附濕氣，吸附濕氣

后的親水吸附纖維152具有較強的粉塵吸附能力，利用親水吸附纖維152吸附顆粒較大的雜

質(zhì)，并利用設(shè)置的活性炭吸附球153和活性炭吸附顆粒154對廢氣中的小顆粒雜質(zhì)和有毒有

害氣體進行吸附，球形結(jié)構(gòu)顯著的提升了吸附面積，提升了對退火處理廢氣的凈化效果。

[0033] 請參閱圖1，升降桿2為升降液壓缸、升降氣缸和電動推桿中的一種，能夠方便的對退火處理托盤3進行升降調(diào)節(jié)，滿足不同情況下的使用需求。

[0034] 請參閱圖1，冷卻水管10、進水管11和出水管12均采用耐高溫導(dǎo)熱材料制成，提升水冷效果，延長使用壽命。

[0035] 請參閱圖1，廢氣凈化箱14與機體1的連接處設(shè)有密封墊，保證廢氣凈化箱14與機體1連接處的密封性，避免廢氣泄露。

[0036] 以上所述；僅為本實用新型較佳的具體實施方式；但本實用新型的保護范圍并不局限于此；任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)；根據(jù)本實用

新型的技術(shù)方案及其改進構(gòu)思加以等同替換或改變；都應(yīng)涵蓋在本實用新型的保護范圍

內(nèi)。