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本發(fā)明屬于濺射靶材技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種平面銅靶材的制備方法及應(yīng)用其的磁控濺射方法，步驟S1：制備高純無(wú)氧銅桿；步驟S2：連續(xù)擠壓所述無(wú)氧銅桿以形成坯料，并在擠壓過(guò)程中對(duì)所述坯料進(jìn)行防氧化保護(hù)；步驟S3：待所述坯料冷卻至室溫后進(jìn)行單道次低變形量拉拔操作，控制拉拔變形量為1.5％?3％，控制拉拔變形溫度在300℃?500℃；步驟S4：重復(fù)上述步驟S2和步驟S3至少兩次；步驟S5：對(duì)坯料進(jìn)行矯直操作；步驟S6：對(duì)坯料進(jìn)行機(jī)加工操作，制成銅靶材；

本發(fā)明公開了一種鋁鉻合金靶材的短流程制備方法，該方法包括：一、準(zhǔn)備粉末原料；二、混勻；三、烘干；四、梯度加熱、加壓SPS燒結(jié)；五、包覆熱軋及退火處理；六、機(jī)加工、校直、真空退火及清洗處理。本發(fā)明采用梯度加熱、加壓的SPS燒結(jié)工藝，不僅獲得了合金化完全、組織均勻致密的鋁鉻合金靶材坯料，極大縮短制備周期，大幅提高生產(chǎn)效率，有效保證了良好的合金化效果，還避免長(zhǎng)時(shí)間燒結(jié)造成晶粒長(zhǎng)大和氧含量增加的問(wèn)題，結(jié)合包覆熱軋及退火工藝，進(jìn)一步細(xì)化晶粒、提高組織均勻性，消除了SPS單軸壓力引起密度均勻性差的問(wèn)題