本發(fā)明屬于濺射靶材技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種平面銅靶材的制備方法及應(yīng)用其的磁控濺射方法,步驟S1:制備高純無氧銅桿;步驟S2:連續(xù)擠壓所述無氧銅桿以形成坯料,并在擠壓過程中對所述坯料進(jìn)行防氧化保護(hù);步驟S3:待所述坯料冷卻至室溫后進(jìn)行單道次低變形量拉拔操作,控制拉拔變形量為1.5%?3%,控制拉拔變形溫度在300℃?500℃;步驟S4:重復(fù)上述步驟S2和步驟S3至少兩次;步驟S5:對坯料進(jìn)行矯直操作;步驟S6:對坯料進(jìn)行機加工操作,制成銅靶材;
本發(fā)明公開了一種鋁鉻合金靶材的短流程制備方法,該方法包括:一、準(zhǔn)備粉末原料;二、混勻;三、烘干;四、梯度加熱、加壓SPS燒結(jié);五、包覆熱軋及退火處理;六、機加工、校直、真空退火及清洗處理。本發(fā)明采用梯度加熱、加壓的SPS燒結(jié)工藝,不僅獲得了合金化完全、組織均勻致密的鋁鉻合金靶材坯料,極大縮短制備周期,大幅提高生產(chǎn)效率,有效保證了良好的合金化效果,還避免長時間燒結(jié)造成晶粒長大和氧含量增加的問題,結(jié)合包覆熱軋及退火工藝,進(jìn)一步細(xì)化晶粒、提高組織均勻性,消除了SPS單軸壓力引起密度均勻性差的問題
河南三門峽出售17年中聯(lián)雙線180攪拌站,地倉配料機,方量不大,正在拆,需要的聯(lián)系
裝飾鍍膜用靶材及薄膜的制備研究,有研資源環(huán)境技術(shù)研究院,孫悅,顏色呈現(xiàn)機理及應(yīng)用需求;黑膜用陶瓷濺射靶材制備及應(yīng)用技術(shù);電致變色活性層用靶材制備技術(shù);電致變色材料在紅外波段應(yīng)用研究;總結(jié)與展望;
羅群,上海大學(xué),研究員。研究方向:基于相變熱/動力學(xué)計算的輕合金設(shè)計。在Adv. Mater.、J. Magnes. Alloy.、J. Mater. Sci. Technol.等期刊發(fā)表論文80余篇,引用3000余次;授權(quán)國家發(fā)明專利13項;主持多項國家自然科學(xué)基金、國家重點研發(fā)計劃子課題等項目;獲國際鎂合金科學(xué)與技術(shù)獎·年度青年獎、中國有色金屬工業(yè)科學(xué)技術(shù)一等獎,入選2022年World TOP 2% Scientists、中科協(xié)青年人才托舉工程等;學(xué)術(shù)兼職中國材料研究學(xué)會理事、JMA、MGE Advances、RM等期刊青年編委。