OTF-1200X-50S-PE-SL 小型滑動PECVD管式爐
應(yīng)用范圍:OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型滑動開啟式PECVD系統(tǒng)。此套設(shè)備配有等離子射頻電源,直徑為50mm的開啟式管式爐(帶有真空法蘭和連接管道)及機械泵組成。該設(shè)備模型可更新為不同類型的PECVD 系統(tǒng),且設(shè)備性價比較為理想。
產(chǎn)品型號:
上架時間 :2020-12-09
安裝尺寸:1500mm L′600mm W′1200mm H
重量:160 kg
OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型滑動開啟式PECVD系統(tǒng)。此套設(shè)備配有等離子射頻電源,直徑為50mm的開啟式管式爐(帶有真空法蘭和連接管道)及機械泵組成。該設(shè)備模型可更新為不同類型的PECVD 系統(tǒng),且設(shè)備性價比較為理想。
性能指標(biāo)和基本配置