設(shè)備介紹

PECVD旋轉(zhuǎn)管式爐系統(tǒng)適用于粉體材料的表面薄膜沉積。系統(tǒng)由高功率射頻電源(500W，13.56MHz)、真空系統(tǒng)、旋轉(zhuǎn)管式爐組成。該設(shè)備是為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，利用了等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng)，環(huán)境溫度在100-300℃，但反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解、離解和離化，從而大大提高了反應(yīng)物的活性，這些具有反應(yīng)活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上，發(fā)生非平衡的化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜，因此這種CVD稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法。PECVD淀積的薄膜具有良好的電學(xué)性能、良好的襯底附著性以及非常好的臺(tái)階覆蓋性，正由于這些優(yōu)點(diǎn)使其在大規(guī)模集成電路、光電器件、MEMS等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用。

產(chǎn)品優(yōu)勢

成品質(zhì)量好

PECVD具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點(diǎn)

爐管可旋轉(zhuǎn)

爐管采用定制變徑爐管，管壁內(nèi)帶有石英撥料臺(tái)，讓物料受熱更充分。爐管360℃旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)速度可調(diào)

可通保護(hù)氣氛

法蘭上帶有進(jìn)出氣旋轉(zhuǎn)接頭，可以通入氮?dú)?、氬氣等惰性保護(hù)氣體，可在氣氛環(huán)境下使用

安全防護(hù)功能

安全防護(hù)，具有超溫保護(hù)功能，當(dāng)溫度超過允許設(shè)定值后，自動(dòng)報(bào)警保護(hù)功能，操作安全可靠

沉積效果好

等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜

智能多段PID可編程

溫控系統(tǒng)采用PID智能化程序控溫，自整定功能并可編制多段升降溫程序

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品名稱 PE旋轉(zhuǎn)管式爐

產(chǎn)品型號(hào) KJ-TX1100-S50LK1

爐膛材料 爐膛采用氧化鋁多晶纖維

爐管尺寸 兩端直徑約Φ30mm，中間尺寸Φ50mm 總長約1200mm

(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)

加熱區(qū) 200mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)

爐管材質(zhì) 石英爐管

工作溫度 ≤1000℃

最高溫度 1100℃

加熱元件 合金加熱絲

控溫精度 ±1℃

加熱速率 建議10℃/min，可根據(jù)實(shí)驗(yàn)工藝進(jìn)行調(diào)節(jié)

溫度測試元件 N型熱電偶

控溫系統(tǒng) 采用智能化多段PID可編程控制

溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有 PID 調(diào)節(jié)、自整定功能并可編制多段升降溫程序;

1、采用PID 方式調(diào)節(jié)控溫，可設(shè)置多段升降溫程序

2、控溫精度±1oC

3、具有過溫保護(hù) 斷偶保護(hù)過溫或斷偶時(shí)電爐加熱電路自動(dòng)切斷

4、儀表具有溫度自整定的功能

密封方式 采用磁流體和真空法蘭的密封方式，密封效果更好

旋轉(zhuǎn)速率 15rpm/min 可調(diào)

旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu) 旋轉(zhuǎn)方式，爐管可以360℃旋轉(zhuǎn)，爐體可傾斜

真空系統(tǒng) 1、采用旋片真空泵,冷態(tài)極限真空度可達(dá)10Pa，真空泵含粉塵過濾器

2、KF快接，不銹鋼波紋管，手動(dòng)擋板閥與法蘭，真空泵相連;

3、數(shù)顯真空計(jì)顯示

等離子電源系統(tǒng) 功率范圍 0-500W(連續(xù)可調(diào))

工作頻率 13.56MHZ+0.005%

工作模式 連續(xù)輸出

冷卻方式 風(fēng)冷

售后服務(wù) 12個(gè)月質(zhì)保、終身保修(加熱元件、爐管等隨機(jī)贈(zèng)送配件不屬于質(zhì)保范圍)

注意事項(xiàng) 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

· 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，使用時(shí)會(huì)更加精確安全

· 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)

· 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊

· 石英管的長時(shí)間使用溫度<1100℃

不得通入氯化物、硫化物等易腐蝕性氣體，易造成法蘭等不銹鋼件的損壞

對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)

不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。

若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)

若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生(如爐管破裂，法蘭飛出等)