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三溫區(qū)CVD系統(tǒng)

三溫區(qū)CVD系統(tǒng)

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規(guī)格/型號：KJ-OTF-1200-80*220*3-F3
品牌：鴻爐機械
應(yīng)用領(lǐng)域：材料制備
產(chǎn)地：河南 - 鄭州
廠家/供應(yīng)商：河南鴻爐機械設(shè)備有限公司
咨詢電話:：17737149370（請說明信息源自“中冶有色網(wǎng)”）
更新時間：2025-07-30
級別：待認(rèn)證

三溫區(qū)CVD系統(tǒng)說明介紹

三溫區(qū)CVD系統(tǒng)

設(shè)備介紹

此款多溫區(qū)CVD系統(tǒng)是由多通道高精度的質(zhì)量流量計、低真空機組以及1200度高溫管式爐組成。該CVD化學(xué)沉積系統(tǒng)廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體、納米材料、碳纖維、石墨烯等新材料、新工藝領(lǐng)域。

產(chǎn)品優(yōu)勢

PID程控技術(shù)

控制電路選用模糊PID程控技術(shù)，該技術(shù)控溫精度高，熱慣性小，溫度不過沖，性能可靠

操作方便快捷

氣路采用快速連接法蘭結(jié)構(gòu),提高操作便捷性

穩(wěn)定的真空系統(tǒng)

中真空系統(tǒng)具有真空度上下限自動控制功能，高真空系統(tǒng)采用高壓強，耐沖擊分子泵

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品名稱 三溫區(qū)CVD系統(tǒng)

產(chǎn)品型號 KJ-OTF-1200-80*220*3-F3

加熱系統(tǒng)

顯示 LED

最高溫度 1200℃

工作溫度 1100℃

升溫速率 建議: 0~10℃/min

溫區(qū) 3溫區(qū)

每個區(qū)域的長度 220mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)

加熱元件 鉬電阻絲

熱電偶 N型

溫度控制精度 ±1℃

爐管尺寸/材質(zhì) 80 x 1300mm (其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)

材料：高純度石英

溫度控制 通過SCR功率控制的PID自動控制

加熱過程 30步可編程

真空測量 復(fù)合數(shù)字真空計

真空法蘭 帶閥和針的不銹鋼真空法蘭

真空泵系統(tǒng) 冷態(tài)極限真空6.67*10-3Pa。真空泵總成(旋轉(zhuǎn)葉片泵+擴散泵)

氣路系統(tǒng)

高精度質(zhì)量流量計 3氣路Ar、N2、C2H4氣體

流量范圍 可選(20、30、50、100、200、300、500)SCCM

工作壓力差范圍 0.1~0.5MPa

耐壓性 3MPa

溫度系數(shù) 零點：≤±0.2%F.S./℃;量程：≤±0.2%F.S./℃

工作環(huán)境溫度 5~45℃
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