設(shè)備介紹
鄭州科佳生產(chǎn)的這款CVD管式爐廣泛用于樣品在真空和氣氛條件下的燒結(jié)、涂層、納米管研究、釬焊、退火等實(shí)驗(yàn),適用于高校、研究機(jī)構(gòu)實(shí)驗(yàn)室和工礦企業(yè)進(jìn)行CVD工藝的科研和實(shí)驗(yàn)。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
雙層殼體上開啟結(jié)構(gòu)
雙層殼體上開啟結(jié)構(gòu),取放爐管方便,裝有風(fēng)冷系統(tǒng),爐子外殼溫度保持安全范圍內(nèi)
LCD觸屏操作系統(tǒng)
采用LCD觸屏操作系統(tǒng),操作方便快捷,數(shù)據(jù)可存儲(chǔ)可通過(guò)EXCEL輸出
優(yōu)良的動(dòng)密封系統(tǒng)
爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便,密封性強(qiáng),可使得設(shè)備在旋轉(zhuǎn)的過(guò)程中保持氣氛狀態(tài)
技術(shù)參數(shù)
加熱系統(tǒng)(管式爐)
最高溫度 1200 ℃
工作溫度 ≤1100℃
顯示 LCD觸摸屏
管徑 100mm(外徑)(其他尺寸可按客戶需求定制)
管材 高純石英管
熱區(qū)長(zhǎng)度 300mm(其他尺寸可按客戶需求定制)
加熱元件 含鉬電阻絲
加熱速率 建議≤10℃/min
溫度控制
?可保存16條溫度曲線的LCD觸摸屏控制,每條溫度曲線可自動(dòng)設(shè)置,可編程30步。
?通過(guò)SCR功率控制實(shí)現(xiàn)PID自動(dòng)控制。
?內(nèi)置超溫和熱電偶故障保護(hù)。
熱電偶 N型
溫控精度 ±1℃
爐膛 雙層鋼制外殼,帶雙冷卻風(fēng)扇,上開啟結(jié)構(gòu)
高純度Al2O3纖維爐膛材質(zhì),保溫節(jié)能
真空法蘭 帶閥門的不銹鋼真空法蘭
供氣系統(tǒng)
浮子流量計(jì) S標(biāo)準(zhǔn)流量范圍:
氣體流量為10-100ml/min(最終流量范圍基于客戶要求)
壓力表 機(jī)械壓力表(-0.1Mpa至0.15Mpa)
高真空擴(kuò)散泵組 旋轉(zhuǎn)葉片泵、擴(kuò)散泵系統(tǒng)
極限真空:0.0001mbar
真空計(jì) 電阻真空計(jì)
電離真空計(jì)
冷水機(jī)組(選配) 冷水機(jī)組用于冷卻水泵
質(zhì)保 一年有限保修(加熱元件等消耗品不在保修范圍內(nèi)),并提供終身支持