該PECVD(等離子化學氣相沉積系統(tǒng))系統(tǒng),有多路質(zhì)量流量計系統(tǒng)(進口流量計),真空機組(進口真空泵),PE射頻電源(進口射頻源),溫控系統(tǒng)等裝置構(gòu)成。使用PE源將氣源等離子化,有利于降低工藝溫度,同時擴大工藝的使用條件,滿足更多的工藝實驗要求,如石墨烯、碳納米管等,控制操作系統(tǒng)集成于觸摸屏操作面板上,便于操作與觀察。
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