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半導(dǎo)體缺陷剔除方法

1292   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 09:20:06
一種半導(dǎo)體缺陷剔除方法。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工領(lǐng)域,尤其涉及一種半導(dǎo)體缺陷剔除方法。提供了一種利用半導(dǎo)體溫度敏感特性,抓住缺陷部位和其它部位的載流子濃度對溫度敏感程度存在較大差異的特點,可靠剔除微缺陷器件的半導(dǎo)體缺陷剔除方法。本發(fā)明在工作中,先對半導(dǎo)體施加正向電流,提升半導(dǎo)體結(jié)溫;結(jié)溫提升的情況下對半導(dǎo)體施加反向浪涌,可有效剔除常溫下無法測試出的帶有缺陷的半導(dǎo)體器件,可有效降低半導(dǎo)體失效率,提升半導(dǎo)體器件可靠性。
聲明:
“半導(dǎo)體缺陷剔除方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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